DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.3) - 第388页
14-28 Next Generation, Multi-Function al Placer DECAN S1 Administrator’s G uide 14.3.4. Fiducial Cameras Offset Calibration 测量 G ant ry 的 Ref. Fiducial Camera 的中心与 Other Fiducial Camera 的中心之间的距 离。 下面是 Fiducial Came ra Of…
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Machine Calibration
5. 每个悬臂使用2个基准相机时，点击 <3. Other Fid. Camera Scale>键后按照同
一方法实行校准(Calibration)。
备 注 (Ref. / Other)基准相机(FOV7.5)的校正基准值如下
ScaleX: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleY: 13.0 ~ 17.0 (μm/pixel)
ScaleR: -0.5 ~ 0.5 (deg)
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
14.3.4. Fiducial Cameras Offset Calibration
测量Gantry的Ref. Fiducial Camera的中心与Other Fiducial Camera的中心之间的距
离。
下面是 Fiducial Camera Offset的校正步骤。
1) 点击<Calibration Menu>领域的<4. Fid. Cameras offset>按钮。
将Ref. Fiducial Camera移动到Fiducial Camera Scale Calibration所设置的Mark位
置后，测量Mark的中心位置。
然后将Other Fiducial Camera移动到Mark位置后，测量Mark的中心位置。
2) Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。如果需要适用Calibration值，则点
击<Update>按钮。
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Machine Calibration
测量结果可在Head Offset对话框中确认。
备 注 Other Fid. Camera的校准基准值如下。
Gantry 1
Offset X: -263 ~ -261 (mm)
Offset Y: -1 ~ 1 (mm)