DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.3) - 第429页
14-69 Machine Calibration 14.3.8.8. Fly Camera Offset Calibration 校正飞行相机和 Head Spindle 中心间的差距。 执行 Fly Camera Offse t Calibration 之 前， 需先确认 ANC 1 号孔中是否已安装 CNT20 喷嘴。 使用 Head 的 R eference Fi ducial Mark 时， 同时执行 Reference Fi…
14-68
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
备 注 Fly Camera的校正基准值如下。
Fly Camera FOV 20.3mm(MEGA) (μm/pixel)
Scale X: 19.22 ~ 20.18
Scale Y: 19.22 ~ 20.18
14-69
Machine Calibration
14.3.8.8. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。执行Fly Camera Offset Calibration之
前，需先确认ANC 1号孔中是否已安装CNT20喷嘴。
使用Head的Reference Fiducial Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在System Setup菜单的Camera对话框中进
行设置。Default值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 未安装CNT20喷嘴时，点击<Nozzle Prepare>按钮后，请在ANC 1号孔中手动插
入CNT20喷嘴。
2. 选择<Automatic Next(自动下一步)> 校验框后，点击<14. Fly Camera Offset> 按
钮，则对选择的Gantry自动执行校正。
3. 校正首先识别Head的Reference Fiducial Mark测量飞行相机的R Off
set。之后用
飞
行相机识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点测量飞行相机的Scale值。
14-70
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 正常结束对所有磁头的校正，则显示如下结果值。如下图显示结果值。点击
<Update>按钮。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。