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9 OM-1645 6. 基板移戴 コンベア上の各レーンの各ブロックにある基板を次のブロックへ移 動させることができます。 [1] [2] [2] [2] [2] 基板移載F9 [1] コンベアイメージ表示部 イメージ表示されているコンベアの各レーン、各ブロックはボタン になっています。 コンベアブロックのボタンを押し、 10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを押すとその位置まで基板が移戴されます。 [2] 基板位…
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5. バックアップピン
各コンベアのバックアップピンの交換作業を行う際に使用します。
デュアル搬送対応以外の説明については、“SIGMA-G52 巻6 章4.バッ
クアップピン”を参照してください。
[1]
[6]
バックアップピン F8
[1] 基板位置決め部選択ボタン
各レーンの段取作業を行う側の基板位置決め部を選択します。
[A レーン L 側 ] ボタン:A レーン側基板位置決め L 部を選択します。
[B レーン L 側 ] ボタン:B レーン側基板位置決め L 部を選択します。
[A レーン R 側 ] ボタン:A レーン側基板位置決め R 部を選択します。
[B レーン R 側 ] ボタン:B レーン側基板位置決め R 部を選択します。
画面展開
5. バックアップピン
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6. 基板移戴
コンベア上の各レーンの各ブロックにある基板を次のブロックへ移
動させることができます。
[1]
[2] [2]
[2] [2]
基板移載F9
[1]コンベアイメージ表示部
イメージ表示されているコンベアの各レーン、各ブロックはボタン
になっています。
コンベアブロックのボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START]
ボタンを押すとその位置まで基板が移戴されます。
[2]基板位置決め AL、基板位置決め BL、
基板位置決め AR、基板位置決め BR
各レーン、各ブロックの基板位置決めを行います。
[ 実行 ] ボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを
押すと、選択したバックアップベースが上昇し、基板が位置決めさ
れます。
[ 解除 ] ボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを
押すと、選択したバックアップベースが下降し、基板が位置決めが
解除されます。
画面展開
6.基板移載
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7. 生産枚数設定
各レーンの生産枚数の設定を行います。
デュアル搬送対応以外の説明については、“SIGMA-G52 巻6 章8.生産
枚数”を参照してください。
[1]
生産枚数 F10
[1] 設定数 ( 枚 )
A レーン、B レーン
基板生産枚数停止で停止したい生産枚数設定します。
ノート
設定した枚数は、“生産運転”画面の“生産枚数”にも表示されます。
画面展開
7. 生産枚数設定
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