OM-1645-001_w - 第38页
19 OM-1645 11.4 基板移載と位置決め状態の確認 1004-001 11.4 基板移載と位置決め状態の確認 “生産運転”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確 認します。 手順 (1) “画面展開”に従い、 “基板移載”画面を表示させる。 F21 (2) 前工程より基板移載と位置決め状態の確認をするレーンに基板を搬 入する。 (3) イメージ表示されている位置決めコンベア 1 のブロックボタンを…
18
OM-1645
11.3 基板バックアップピンの回収とコンベア幅の段取り
1004-001
11.3 基板バックアップピンの回収とコンベア幅の段取り
手順
(1)“バックアップピン”画面を表示する。
(2)操作を行うレーンのコンベアを選択する。
F18
(3)[ バックアップピン交換位置移動 ]ボタンを押し、10 秒以内に操作
パネルの[START]ボタンを押す。
( ヘッドが待避し、コンベア幅が最大幅まで広がります。)
F19
(4)[ バックアップピン取付 / 取外し ] ボタンを押し、10 秒以内に操作
パネルの [START] ボタンを押す。
( パターンプログラムで指定した位置へ基板バックアップピンを配置
します。)
F20
(5)[ 生産運転指定目標位置移動 ]スイッチを押し、10 秒以内に操作パ
ネルの[START]ボタンを押す。
( コンベア幅が選択されている生産機種に合せて移動します。)
画面展開
19
OM-1645
11.4 基板移載と位置決め状態の確認
1004-001
11.4 基板移載と位置決め状態の確認
“生産運転”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確
認します。
手順
(1)“画面展開”に従い、“基板移載”画面を表示させる。
F21
(2)前工程より基板移載と位置決め状態の確認をするレーンに基板を搬
入する。
(3)イメージ表示されている位置決めコンベア 1 のブロックボタンを押
し、10 秒以内に操作パネルの[START]ボタンを押し、基板を移載す
る。
(4)基板が正常に移載でき、移載時に引っかかりや落下しないことを確
認する。
(5)“基板位置決め
L”の[ 実行 ]
ボタンを押し、10 秒以内に操作パネ
ルの[START]ボタンを押す。
( バックアップベースが上昇します。)
(6)カバーロックスイッチを押し、スイッチを消灯させる。
( 透明カバーのロックが解除されます。)
画面展開
20
OM-1645
11.4 基板移載と位置決め状態の確認
1004-001
(7)透明カバーを開く。
注意
モータなどの負荷電源は OFF の状態ですが、装置内に手を
入れる段取り作業ですので、安全には十分注意してくださ
い。
(8)基板を軽く指で押し、バックアップピンの位置に問題がないことを
確認する。
(9)透明カバーを閉じる。
(10)カバーロックスイッチを押し、スイッチを点灯させる。