SM421 Service Manual(Chi Ver1) - 第299页

Feeder Base & ANC 7-1 1 4. 组装新 ANC Module 。此时 , 确保器具组装程度 X Gantry 和 ANC 平行度 : 0.02 m m 以内。  X 轴 (Head) 上附着 Dial Gage ，组装时与 ANC 的 Main Body 的平行度保持 0.02mm 以内 5. 作业完成后，打开设备前面的 Main Switch ，启动 PC 。 6. 请更新 ANC 的 Fiducial…

Samsung Component Placer SM421 Service Manual

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2. 请正常关闭PC后，关闭设备前面的Main Switch。

3. 除去下图中所示的固定螺丝，分离不良ANC Module。

Main Switch 的 OFF

方向 (逆时针方向)

Feeder Base & ANC

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4. 组装新ANC Module。此时,确保器具组装程度X Gantry和ANC平行度: 0.02 m

m 以内。

 X 轴(Head)上附着 Dial Gage，组装时与 ANC 的 Main Body 的平行度保持

0.02mm 以内

5. 作业完成后，打开设备前面的Main Switch，启动PC。

6. 请更新ANC的Fiducial Position & Mark。

 请执行 ANC Fiducial Teaching

固定螺丝 (M6-4 个)

测定地点全区间: 0.02 mm 以内

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 按 Scan 使 Teaching 坐标的误差 X,Y diff 值到 0.005mm 以内时为止反复进

行补正。

 为适用 Scan 补正的坐标，暂先关闭 ANC 画面，再重新打开。

 请确认 ANC Pocket 的 Position。