SM421 Service Manual(Chi Ver1) - 第301页

Feeder Base & ANC 7-13 7.2.3. ANC Shutter S peed  Speed Controller 异常 (ANC 误启动 ) 7.2.3.1. ANC shutter S peed 调节次序 1. 操作示教框设备执行初始化 (Ho ming) 。 2. 按设备前面的 <EMG> 按钮，切断 电动机电源。 3. 为调整 Shutter 的 Close 及 Open Speed ，在…

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按 Scan 使 Teaching 坐标的误差 X,Y diff 值到 0.005mm 以内时为止反复进
行补正。
为适用 Scan 补正的坐标，暂先关闭 ANC 画面，再重新打开。
请确认 ANC Pocket 的 Position。
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Feeder Base & ANC
7-13
7.2.3. ANC Shutter Speed
Speed Controller 异常 (ANC 误启动)
7.2.3.1. ANC shutter Speed 调节次序
1. 操作示教框设备执行初始化(Homing)。
2. 按设备前面的<EMG>按钮，切断电动机电源。
3. 为调整 Shutter 的 Close 及 Open Speed，在 Shutter 工作状态下调整 Speed
Controller.
向顺时针方向转动 Speed Controlle 为减速，逆时针方向转动为提速。
Speed Controlle
r
for Close
Speed Controlle
r
for Open
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4. 请确认 ANC 是否正常工作。
7.2.4. ANC Close/Open Sensor
Sensor 异常 (ANC 误启动)
7.2.4.1. 必要工具
十字(+)螺丝刀, 一字(-)螺丝刀
7.2.4.2. ANC close/open sensor 组装位置设置
1. 操作示教框设备执行初始化(Homing)。
2. 按设备前面的 <EMG>按钮，切断电动机电源。
3. Shutter 的 Close 状态下边移动 Close 感知传感器，确认传感器的亮灯状态来确
认感知范围。(下端传感器)