SM421 Service Manual(Chi Ver1) - 第93页
Calibration 3-41 飞行相机 的校正基准值为如下 FOV 16 (ME GA) ScaleX: 15.39~16.35 ( μ m/pixel) ScaleY : 15.39~16.35 ( μ m/pixel) FOV 25 (ME GA) ScaleX:23.56~24.52 ( μ m/pixel) ScaleY : 23.56~24.52 ( μ m/pixel) " 备注
Samsung Component Placer SM421 Service Manual
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那么，磁头 1 的 Z 轴上升到飞行相机的部件识别高度，关闭 Mirror。然后在消
息窗显示 “准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时在 <目标摄像>组
合框中选择“飞行相机 1”点击<亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中 SMVision
显示的 CNT20 吸嘴上的 Fiducial Mark 明显为止调整照明亮度后点击<下个>
按钮。
8. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则如下图显示结果值，请点击 <下个>
按钮。
9. 显示“下一步, 把校校正工具从 H1 取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。”消息。为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除去 CNT20 吸嘴请点
击 <下个>按钮。
10. 请按照对飞行相机 1 的校正方法，同样地从飞行相机 2~6 执行校正。
11. 对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值
请点击<确定>按钮。
Calibration
3-41
飞行相机的校正基准值为如下
FOV 16 (MEGA)
ScaleX: 15.39~16.35 (μm/pixel)
ScaleY: 15.39~16.35 (μm/pixel)
FOV 25 (MEGA)
ScaleX:23.56~24.52 (μm/pixel)
ScaleY: 23.56~24.52 (μm/pixel)
" 备注
Samsung Component Placer SM421 Service Manual
3-42
3.2.7.7. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和 Head Spindle 中心间的差距。为了执行‘Fly-Camera Offset
Calibration’先要进行‘Fly-Camera Scale Calibration’和 ‘Head Z-Offset Calibration’,要
使用 CNT20 吸嘴。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在 ANC1 号孔中插入 CN400 吸嘴。选择<自动下一步>
校验框后，
点击<11. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的 Gantry 自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各 Head 手动插入吸
嘴，并点击<下个>进入下一个阶段。
不选 <自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的 Head 自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执
行下一个阶段。
2. 点击<11. Fly Camera Offset>按钮则显示“首先，我们必须把所有吸嘴手动离开
朝向。将 Z 轴调制低处，点击[下一步]”消息。为了手动除去所有贴装在磁头的
吸嘴，拉下磁头的 Z 轴请点击 <下个>按钮。
3. 那么, Head Assembly 移动到设备指定的位置后，拉下所有 Z 轴。此时，请手
动除去已贴装的所有吸嘴。
4. 显示“下一步，将标准工具粘贴在头部 1。点击[下一步]向下移动。移动后，手
动粘贴工具到首部。”消息。在磁头 1 的吸嘴支架上手动安装 CNT20 吸嘴后请
点击 <下个>按钮。
5. 显示“排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击<下个>按
钮。
6. 那么，磁头 1 上升到飞行相机的 Align 高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显
示“准备标准。对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中
选择“飞行相机 1”点击<亮度>按钮，在”亮度控制”对话框中 SMVision 显示的
CNT20 吸嘴上的 Fiducial Mark 明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。