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89-A 精度検 証用ジグキ ット:NPM Accuracy V erification Jig Kit:NP M パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 1008 172 5AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O297 ( KN610081725AA-04-1 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
88
面補正ジグ:NPM-D
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610112814AB
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
2
1 N210141055AA
CASE
1
2 N510057502AA X-Y Plane Calibration Jig 2 in Case;460X306
O296
--
( KN610112814AB-00 )
89-A
精度検
証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610081725AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O297
( KN610081725AA-04-1 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
89-A
精度検
証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610081725AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
NOZZLE(No.153AS)
2
1 N610111442AA
NOZZLE(No.184)
2
2 N610056813AA
1003 Nozzle
2
3 KXFX037UA00
CASE
1
4 N210113447AA
1001 Nozzle
2
5 KXFX037SA00
CASE
1
6 N210121869AA
NOZZLE SET
1
7 N610102528AB
NOZZLE SET(No.1001)
1
8 N610102529AA
O298
--
( KN610081725AA-04-1 )