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Tg0984-ID-OP 7-18 2.11 ユニットオフセット 2.11.1 多段トレイ “ユニットオフセット”タブシートの [ 多段トレイ ] タブを押すと、 以下のタブシートが表示されます。 ノート 装置オプションで多段トレイユニットを選択している場合に表示さ れます。 Fig.G25“多段トレイ”タブシート 2.11.2 シャトルトレイ “ユニットオフセット”タブシートの [ シャトルトレイ ] タブを押す と、以下…
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2.10テーブルヘッドオフセット
“オフセットデータ”タブシートの [ テーブル ] タブを押し、“テー
ブル”タブシートの [ ヘッド 1] タブを押すと、以下のタブシートが
表示されます。
ノート
ヘッド 2,3,4 のタブシートについても操作は同様です。
Fig.G24“ヘッド 1”タブシート
2.10テーブルヘッドオフセット
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2.11ユニットオフセット
2.11.1 多段トレイ
“ユニットオフセット”タブシートの [ 多段トレイ ] タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションで多段トレイユニットを選択している場合に表示さ
れます。
Fig.G25“多段トレイ”タブシート
2.11.2 シャトルトレイ
“ユニットオフセット”タブシートの [ シャトルトレイ ] タブを押す
と、以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションでシャトルトレイユニットを選択している場合に表
示されます。
Fig.G25-1“シャトルトレイ”タブシート
2.11ユニットオフセット
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Tg0984-ID-OP
7-18-1
2.12基板高さ測定
“オフセットデータ”タブシートの [ 基板高さ測定 ] タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションで基板高さ測定の設定をしている場合に表示されま
す。
Fig.G25-2“基板高さ測定”タブシート
2.12基板高さ測定
0811-003