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Tg0984-ID-OP 7-18-1 2.12 基板高さ測定 “オフセットデータ”タブシートの [ 基板高さ測定 ] タブを押すと、 以下のタブシートが表示されます。 ノート  装置オプションで基板高さ測定の設定をしている場合に表示されま す。 Fig.G25-2“基板高さ測定”タブシート 2.12基板高さ測定 081 1-003

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2.11ユニットオフセット
2.11.1 多段トレイ
“ユニットオフセット”タブシートの [ 多段トレイ ] タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションで多段トレイユニットを選択している場合に表示さ
れます。
Fig.G25“多段トレイ”タブシート
2.11.2 シャトルトレイ
“ユニットオフセット”タブシートの [ シャトルトレイ ] タブを押す
と、以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションでシャトルトレイユニットを選択している場合に表
示されます。
Fig.G25-1“シャトルトレイ”タブシート
2.11ユニットオフセット
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2.12基板高さ測定
“オフセットデータ”タブシートの [ 基板高さ測定 ] タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションで基板高さ測定の設定をしている場合に表示されま
す。
Fig.G25-2“基板高さ測定”タブシート
2.12基板高さ測定
0811-003
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3. 運転パラメータ
3.1 運転パラメータ設定
“運転パラメータ”タブシートの［運転パラメータ設定］タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
各データの表示または入力が行えます。
Fig.G26“運転パラメータ設定”タブシート
3.運転パラメータ
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