KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明 - 第292页
第1部 基本篇 第3章 保养 3-24 3-3-11 CVS(元件验证系统)(选购件) 启动单元时，接触的A面如果附着有灰尘、脏物等，请用浸有酒精的布擦拭。 如果A面上附着有灰尘等，可能无法对元件进行检查。 CVS 俯视图 图 3-3-11-1 CVS 接触 接触 A面
第1部 基本篇 第3章 保养
3-23
3-3-10 统一交换台(选购件)
在送料器台上安装送料器之前，请先除去上面的垃圾和异物。
¾ 请确认“安装板B②”的下部是否有异物混入。
¾ 请确认“台架定位销③”(两侧)附近也没有芯片等异物。
◆ 当有芯片等异物时，请用吸尘器等予以清扫。
3
2
1
图 3-3-10-1 统一交换台
① 送料器台
② 安装板B
③ 台架定位销
第1部 基本篇 第3章 保养
3-24
3-3-11 CVS(元件验证系统)(选购件)
启动单元时，接触的A面如果附着有灰尘、脏物等，请用浸有酒精的布擦拭。
如果A面上附着有灰尘等，可能无法对元件进行检查。
CVS 俯视图
图 3-3-11-1 CVS
接触
接触
A面
第1部 基本篇 第3章 保养
3-25
3-3-12 OCC(偏光过滤器)
请确认OCC偏振过滤器上是否有灰尘或异物。
¾ 用气枪等除去灰尘和异物。
图 3-3-12-1 OCC
① 偏光过滤器
危险
为防止因意外启动而引发事故，请在切断电源后进行清扫作业。
①