KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明 - 第293页
第1部 基本篇 第3章 保养 3-25 3-3-12 OCC(偏光过滤器) 请确认OCC偏振过滤器上是否有灰尘或异物。 ¾ 用气枪等除去灰尘和异物。 图 3-3-12-1 OCC ① 偏光过滤器 危险 为防止因意外启动而引发事故，请在切断电源后进行清扫作业。 ①
第1部 基本篇 第3章 保养
3-24
3-3-11 CVS(元件验证系统)(选购件)
启动单元时，接触的A面如果附着有灰尘、脏物等，请用浸有酒精的布擦拭。
如果A面上附着有灰尘等，可能无法对元件进行检查。
CVS 俯视图
图 3-3-11-1 CVS
接触
接触
A面
第1部 基本篇 第3章 保养
3-25
3-3-12 OCC(偏光过滤器)
请确认OCC偏振过滤器上是否有灰尘或异物。
¾ 用气枪等除去灰尘和异物。
图 3-3-12-1 OCC
① 偏光过滤器
危险
为防止因意外启动而引发事故，请在切断电源后进行清扫作业。
①
第1部 基本篇 第3章 保养
3-26
3-3-13 跟踪球
请清扫跟踪球内部附着的灰尘或异物。
① 请将环按逆时针方向(箭头方向)旋转。
② 拆下环和球。
将球放在软布上等不会滚动的地方。
③ 使用软布等清扫如左图所示的与球接触
的部分。
同样擦拭掉球的污垢。
(严禁水分)
环
45度轴
X检测轴
球支撑
球
Y检测轴
环