KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明 - 第466页

第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 4-161 ③ 请进行 刻度框 (模板设定框)的示教。 按照上面、 左面、 下面及右面的顺序, 利用上下左右箭头键(用 FAST 键改变 刻度框 的移动速 度)来调整、输入 刻度框 。 此时,自动对标记进行识别,并获的校正所需的数据。 ********** ********** 显示摄象机图形和长方形的框。 垫片印刷部分。 首先设定上面及左面的 刻度框 。 设定想识别的上面及左面(移动箭头部分的边)…

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第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
4-160
当标记识别不稳定时,按下照明条件设定按钮,设定照明图案。
请在指定测定框的左上方前,设定照明图案。
4.5.2.3.2-2 照明条件设定
按下设置照明条件按钮,显示如下画面。请进行照明图案的设定。
4.5.2.3.2-3 照明图案设定
·可通过<应用>按钮来确认所设定光量下的图像。
设置照明条件,选择用户定义时,一般设置在50~200之间。设置50 以下时,
有时光量不稳定。
与标记相关的信息相同,仅对检测框进行重新示教时,如果按下 HOD NEXT 键,则
可略过③的操作。
此时,重新识别标记时,NEXT 键无效。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
REGIST/保护膜的图
案照明
在标记上有 REGIST 或保护膜,标准照明时标记反射不佳,
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳,识别不稳定时,直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
4-161
请进行刻度框(模板设定框)的示教。
按照上面、左面、下面及右面的顺序,利用上下左右箭头键(用FAST键改变
刻度框的移动速
度)来调整、输入刻度框
此时,自动对标记进行识别,并获的校正所需的数据。
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显示摄象机图形和长方形的框。
垫片印刷部分。
首先设定上面及左面的刻度框
设定想识别的上面及左面(移动箭头部分的边)。
设定完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示“Set Left-Top Point”
以同样的方式设定下面及右面的刻度框
调整完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示“Set Right-Bottom Point”
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
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然后,用标记判定设定来选择PR
*请将标记对准PR的位置(HOD的键、键(XY移动上下箭头键)),然后按下ENTER键。
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[ *]PR
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模板的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。当模板过大时,会显示错
误并返回③。
进行模板画面重心的示教。
请进行检测框的示教。
完成④的操作后,自动将④操作中所设定的大小为框尺寸1.5倍的窗口与画面中心对准。(默
认窗口)想改变检测框时,按照与③相同的步骤进行。
在画面中显示
刻度框和十字光标。
“HOD”移动十字光标,决定模板的重心(该位置与
基板数据的标记坐标一致)。
画面下方显示“TempMatch-Set Center”
画面下方显示“Select Mark
by Up or Down Key”
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