KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明 - 第473页
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 4-168 1) 操作 ① 传送动作 从一览表中选择搬入或搬出基板。 ② 校准BOC 选择是否在搬入基板后马上进 行BOC校准。选择“按选项执 行”后，则适用操作选项设定 的示教项目设定。 2) 状态 依次显示当前的基板传送内容及动作状况。 图 4.5.4.1.1-3 图 4.5.4.1.1-4
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
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4-5-4-1 传送
4-5-4-1-1 基板搬入/基板搬出
进行基板的搬入及搬出。
当安全盖打开时，选择菜单后，为了将轴待避到安全位置，显示如下信息。
确认安全后，请按下“继续”。
图 4.5.4.1.1-1 安全确认
将轴待避到安全位置后，显示如下的基板传送画面。
图 4.5.4.1.1-2 基板传送
·按<开始>按钮或“执行”进行传送。
·结束操作时，请按“关闭”。
·在传送过程中因某种原因想取消操作时，可以按<停止>按钮停止。
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
4-168
1) 操作
① 传送动作
从一览表中选择搬入或搬出基板。
② 校准BOC
选择是否在搬入基板后马上进行BOC校准。选择“按选项执行”后，则适用操作选项设定
的示教项目设定。
2) 状态
依次显示当前的基板传送内容及动作状况。
图 4.5.4.1.1-3
图 4.5.4.1.1-4
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
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4-5-4-1-2 自动调整基板宽度
可调整基板传送宽度。
选择菜单后，显示如下的画面。
图 4.5.4.1.2-1 基板宽度的自动调整
1) 基板宽度的移动
将传送宽度移动到基板外形尺寸+调整好余宽的宽度，运行时的传送宽度的值适用以下项目的设定值。
2) 基板外形尺寸
设定基板外形尺寸。初始值设定为基板数据中的基板外形尺寸(Y)。
3) 余宽
设定基板与传送导轨的余宽。
使用主体前面的手柄进行调整后，按下“取得”按钮，将当前的传送宽度与基板外形尺寸的差值作为
余宽进行登录。
4) 基板传送按钮
调出基板搬入/搬出。
5) 宽度返回原点
进行基板宽度自动调整的返回原点。
6) 适用按钮
将余宽值应用于生产条件。
<步骤>
① 输入基板外形尺寸。
② 需要变更的宽度有盈余
时，设置盈余宽度。
③ 单击“移动”。
(未进行宽度返回原点
时，应先进行宽度返回
原点)。
图 4.5.4.1.2-2
图 4.5.4.1.2-3
图 4.5.4.1.2-4