KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明 - 第714页
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9-23 (3) 控制按钮 利用控制按钮来执行控制项目。 选择控制项目，选择“执行(Ｅ )”按钮或按下“F3”键来进行控制。 1) 初始化 将基板传送初始化。 2) 基板搬入 根据定位方式中所指定的方式搬入基板。 3) 基板搬出 将基板搬出。 4) 基板固定解除 解除基板的固定。 5) 重新夹紧基板 根据定位方式中所指定的方式将位于传送通道上的基板重新夹紧。 6) 基板 WAIT/OUT 传…
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-22
9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制(A)”，则显示如下的自动控制传
送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送(显示例.KE-2060R)
(1) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
图 9-4-2-2-2
(2) 定位方式
利用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“基板固定解除”、“基板 WAIT/OUT 传感器检查”
时，不能进行设定。
图 9-4-2-2-3
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-23
(3) 控制按钮
利用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目，选择“执行(Ｅ
)”按钮或按下“F3”键来进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板搬入
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 基板固定解除
解除基板的固定。
5) 重新夹紧基板
根据定位方式中所指定的方式将位于传送通道上的基板重新夹紧。
6) 基板 WAIT/OUT 传感器检查
将IN缓冲区的IN传感器与WAIT传感器之间的基板移动到WAIT传感器为ON的位置。
此外，将未碰到OUT缓冲区的OUT传感器的基板移动到OUT传感器为ON的位置。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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9-4-2-3 自动调整基板宽度控制
从菜单栏中选择“控制”/“传送系统”/“自动调整基板幅宽”，则显示如下的自动基板宽
度调整控制画面。
图 9-4-2-3-1 自动调整基板宽度控制
(1) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
图9-4-2-3-2
(2) 控制按钮
利用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目，选择“执行(1)”按钮或按下“F3”键来进行控制。
1) 返回原点
将自动基板宽度调整进行返回原点。
2) 宽度变更
变更传送的宽度。
(3) 状态显示
连续显示各传感器、各单元的状态。