KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明 - 第717页
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9-26 9-4-3 图像 9-4-3-1 VCS 控制(仅适用于 KE-2055R,2060R) 从菜单栏中选择“控制”/“图像”/“VCS控制”，则显示如下的VCS控制画面。 图 9-4-3-1-1 VCS 控制 (1) 控制单元 利用按钮来选择控制对象单元。 不能选择 MS 参数的“选项”设定中未设定视野类型(未安装) 的单元。 不受机器设置的“使用单元”设 定的影响。(也可以选择…
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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9-4-2-4 元件吸取控制
从菜单栏中选择“控制”/“传送系统”/“元件吸取控制(P)”，则显示如下的基板吸取控制
画面。
图 9-4-2-4-1 基板吸取控制(显示例.KE-2060R)
(1) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
图 9-4-2-4-2
(2) 控制按钮
利用控制按钮来执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择控制项目后，再选择“ON”按钮、“OFF(F
)”按钮、“ON/OFF(/)”按钮或按下“F3”键、
“F4”键、“F5”键来进行控制。
在支撑台被选中时，按下“上(U
)”、“下(D)”、“上/下(/)”按钮来进行控制。
1) 真空控制
对真空台的真空ON/OFF进行控制。
2) 喷吹控制
对真空台的喷吹ON/OFF进行控制。
3) 支撑
控制支撑台的上/下。
(3) 状态显示
在控制结束时显示各单元的状态。
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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9-4-3 图像
9-4-3-1 VCS 控制(仅适用于 KE-2055R,2060R)
从菜单栏中选择“控制”/“图像”/“VCS控制”，则显示如下的VCS控制画面。
图 9-4-3-1-1 VCS 控制
(1) 控制单元
利用按钮来选择控制对象单元。
不能选择 MS 参数的“选项”设定中未设定视野类型(未安装)的单元。
不受机器设置的“使用单元”设定的影响。(也可以选择不使用的单
元)
图9-4-3-1-1(1)
(2) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
不影响机器设置的“使用单元”中的设定。
(也可以选择不使用的单元)
图 9-4-3-1-1(2)
(3) 控制按钮
KE-2055R, KE2060R
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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利用控制按钮来执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
① 透射照明、侧面照明、下方照明、同轴落射照明、全照明
选择控制项目后，再选择“ON(1)”按钮、“OFF(2)”按钮、“ON/OFF(3)”按钮或按下“F3”
键、“F4”键、“F5”键来进行控制。
选择控制项目后，再选择“设定(4)”按钮或按下“F6”键，显示照明设定画面。
在照明设定画面中可选择照明与光量。
图 9-4-3-1-2 照明设定画面
选择“确定”按钮，则从下一次开始根据设定的内容将照明置于 ON。
选择“关闭”按钮，则设定的内容无效。
② 极性控制
控制极性的正/反。
控制项目的“极性控制”被选中时，选择“正(1
)”按钮、“反(2)”按钮、“正/反(3)”按钮
或按“F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。
③ 照明单元移动控制
将照明单元移动到 Standard 侧或 Option 侧。
控制项目的“照明单元移动控制”被选中时，选择“STD(1
)”按钮、“OPT(2)”按钮、
“STD/OPT(3
)”按钮或按“F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。
(4) 状态显示
在控制结束时显示各单元的状态。
侧面照明和透过照明（左右）不能同时点亮。
注意
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