03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA - 第51页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 51 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 2.7.1 Qualfikation des Personals Mit Ausnahme des Substratklemme Folienaustauschs, dürfen a…
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.6 JUSTIERUNGEN UND EINSTELLUNGEN
50 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
9. Wählen Sie Exit.
10. Legen Sie ein Substrat in den Druckbereich. Verstellen Sie den Mengenregler (3), damit er
vollständig geöffnet ist (vollständig entgegen den Uhrzeigersinn).
11. Während Sie zwischen "OTS Over Top Klemme umschalten" EIN und AUS wie erforderlich
hin und her schalten:
– Prüfen Sie, dass beide Klemmen die ganze Strecke runter gehen und auf einer Linie mit
dem Substrat sind.
HINWEIS
Es ist wichtig, beide Klemmen simultan zu prüfen, da sie nicht immer gleich reagieren.
– Wenn die Klemmen nicht den ganzen Weg runter gehen, bedeutet dies, dass der Balance-
Druck zu hoch eingestellt wurde. Drosseln Sie den Balance-Druckregler leicht (1/8 Dre-
hung entgegen den Uhrzeigersinn) und prüfen Sie erneut, ob die Klemmen den ganzen
Weg runter gehen.
– Wiederholen Sie den vorherigen Schritt, bis die Klemmen den ganzen Weg runter gehen.
– Verstellen Sie den Mengenregler, senken Sie die Luft (im Uhrzeigersinn), damit die Klem-
men nicht den ganzen Weg runter gehen.
– Verstellen Sie den Mengenregler, steigern Sie die Luft (entgegen den Uhrzeigersinn), nur
bis zu dem Punkt, an dem die Klemmen wieder unten flach sind.
– Verstellen Sie die Mengenreglereinstellung um eine halbe Umdrehung. Ziehen Sie die
Mengenregler Kontermutter (2) fest, um eine ungewollte Justierung zu vermeiden.
12. Prüfen Sie erneut den mittlere Platte Balance-Druckregler (wie zu Beginn dieses Kapitels
beschrieben) und überprüfen Sie, dass die Klemmen immer noch in einer neutralen Position
verbleiben.
13. Wählen Sie Justieren.
14. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um den Klemmendruck zu markieren.
15. Benutzen Sie Steigern oder Senken um es auf 3 Bar einzustellen.
16. Wählen Sie Exit.
17. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um die Kippschalter Substratklemme zu markieren.
18. Während Sie zwischen "Substratklemme umschalten" EIN und AUS hin- und herschalten, ge-
währleisten Sie, dass die Klemmenbewegung glatt verläuft, und dass beide Klemmen ganz
runter gehen, bis sie flach sind.
19. Entfernen Sie das Substrat aus dem Druckbereich.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 51
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
2.7.1 Qualfikation des Personals
Mit Ausnahme des Substratklemme Folienaustauschs, dürfen alle Austauschverfahren in diesem
Abschnitt nur von einem ASM-Techniker, bzw. einem entsprechend geschulten Kundendiensttech-
niker durchgeführt werden.
2.7.2 Vorbereitung für den Austausch
Um die Maschine auf all APC-Modul Austauschverfahren vorzubereiten:
1. Wählen Sie Abdeckung öffnen Befehle.
2. Wählen Sie Druckschlitten nach hinten.
3. Wählen Sie Sieb entladen.
4. Die vordere Druckkopfabdeckung öffnen.
5. Entfernen Sie das Sieb aus der Maschine.
6. Schließen Sie die vordere Druckkopfabdeckung, drücken Sie die System Taste.
7. Wählen Sie Zurück.
8. Wählen Sie Wartung.
9. Wählen Sie Diagnostik.
10. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um den Hebetisch zu markieren.
11. Wählen Sie Modul wählen.
12. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um Tisch zu Druckhöhe anheben zu wählen.
13. Diagnose laufen lassen wählen.
14. Wählen Sie Exit.
15. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um das Schienensystem zu markieren.
16. Wählen Sie Modul wählen.
17. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um die Schienensubstratbreite Kalibration einstellen
zu markieren.
18. Wählen Sie Justieren.
19. Benutzen Sie Steigern oder Senken, um die Substratbreite in eine geeignete Wartungsposi-
tion (wie z. B. 50 mm) einzustellen.
20. Wählen Sie Exit.
21. Benutzen Sie Weiter oder Zurück, um die folgenden Umschaltparameter zu markieren und
benutzen Sie Diagnostik laufen lassen, um zu gewährleisten, dass sie korrekt eingestellt
sind:
– OTS Over Top Klemme umschalten wurde auf AUS gestellt.
– OTS Mittlere Platte Runter umschalten wurde auf AUS eingestellt.
– OTS Mittlere Platte Hoch umschalten wurde auf AUS eingestellt.
– OTS Bremse umschalten wurde auf AUS eingestellt.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
52 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
22. Benutzen Sie das Anschlussschalterventil, um die Luftzufurht von den APC-Modulen zu tren-
nen.
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Sitz des APC-Verteilers
23. Orten Sie die Kugelprofilbohrungen auf der Unterseite des APC-Moduls. Um zu verhindern,
dass eventuell der Schaft mitten in einem Austauschvorgang herausfällt, kleben Sie zwei
Streifen Abdeckband (1) über die Bohrungen (2).
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2
Unteransicht des APC-Moduls (Die Verkabelung wurde zur verbesserten Ansicht entfernt)
2.7.3 Vorgang nach dem Austauschverfahren
Nachdem ein Austauschvorgang durchgeführt wurde (mit Ausnahme von Substratklemmenfolien,
wenn nur diese ersetzt werden), müssen die folgenden Justier- und Einstellungsvorgänge durchge-
führt werden:
1. Entfernen Sie das Abdeckband von der Unterseite des APC-Moduls.
2. Wenn die Produktbreite auf 250 mm eingestellt ist, sollte der Abstand zwischen den Schienen
(gemessen an der Snug Bar Mitte) zwischen 250,48 mm und 250,52 mm liegen.
Wenn der Abstand zwischen den Schienen außerhalb dieser Parameter liegt, dann führen Sie
folgende Vorgänge durch: "Schienenbreite in Ausgangsposition" und "Einstellung der Sub-
stratbreite", wie im Abschnitt "Justierungen und Einstellungen" in diesem Kapitel beschrieben.
3. Führen Sie den Vorgang "Substrattransit Freiraumprüfung" im Abschnitt "Justierungen und
Einstellungen" in diesem Kapitel durch.