03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA - 第64页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 64 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 9. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau- schen" besc…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 63
2.7.8.2 Austauschen
1. Identifizieren Sie die korrekte Führungsschlittenmontage für den Ersatz, die folgende Abbil-
dung zeigt die korrekten Baugruppen-Modellnummern und wie diese für die vordere (3) und
hintere (4) Montage bestimmt werden.
2
2
1
1
1
3
4
2
= MXJ8-5N
= MXJ8L-5N
2. Benutzen Sie IPA-Tücher, um die Oberflächen des Aufbaus (2), bzw. des Festpunkts (1) auf
der mittleren Platte zu reinigen.
2
1
3. Benutzen Sie einen kleinen Schlitzschraubendreher, installieren Sie die 2 pneumatischen
Anschlüsse am neuen Führungsschlitten in der gleichen Position und Ausrichtung wie vor der
Entfernung.
4. Positionieren Sie den Führungsschlitten an der Halterungsfläche.
5. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die 4 M3 Kopfschrauben auf und befes-
tigen Sie den Führungsschlitten lose an der Halterungsfläche der mittleren Platte.
6. Gewährleisten Sie, dass der Führungsschlitten fest hoch gegen die Festpunktflächen
gedrückt wird und ziehen Sie die 4 M3 Kopfschrauben fest.
7. Wiederholen Sie die Schritte 2 bis 6 für den anderen Führungsschlitten.
8. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
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9. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
10. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2.7.9 Wellenführung Baugruppe Austausch
Es gibt zwei mittlere Platte Wellenführung Baugruppen pro APC-Modul, falls ein Austausch erfor-
derlich ist, dann sollten beide Baugruppen in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.
2.7.9.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)
(in 4 Positionen) von dem ersten Führungsschlitten. Lassen Sie die Pneumatik Rohrbogen (2)
(in 2 Positionen) am Führungsschlitten (3) befestigt.
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2
3
4
5. Bewegen Sie den Führungsschlitten von dessen Halterung und lassen Sie ihn über der Hin-
terseite des Moduls hängen, das Gewicht wird durch die immer noch befestigten, pneumati-
schen Anschlüsse gestützt.
6. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 5 für den anderen Führungsschlitten.
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7. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie Buchsenkopfschrauben
(2) (in 2 Positionen) und Ausgleichscheiben (1) (in 2 Positionen) von der mittleren Platte.
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2
8. Für den Zugang mit dem Schraubenschlüssel, heben Sie die mittlere Platte leicht an. Benut-
zen Sie einen 5,5 mm AF Maulschlüssel (1), um zu verhindern, dass sich die Zylinderstange
dreht, entfernen Sie die Hubzylinder Ansatzschrauben, welche die mittlere Platte mit dem
Hubzylinder verbinden.
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4
9. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel (2), entfernen Sie die Senkkopfschrau-
be (3), welche den Sensor (4) an der mittleren Platte befestigt. Führen Sie den Sensor wieder
zurück durch das Durchgangsloch.
10. Entfernen Sie die mittlere Platte Baugruppe.