03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA - 第71页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 71 4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4) (in 4 Positionen) vom er…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
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13. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, setzen Sie die Zylinderschrauben (2) (in
2 Positionen) wieder ein und die Ausgleichsscheiben (1) (in 2 Positionen), welche an der mitt-
leren Platte des Wellenführungaufbaus befestigt werden.
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14. Benutzen Sie das Trennschalterventil, um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen zu trennen.
Trennen Sie den stromaufwärts gelegenen Schlauch vom Trennschalter, damit sich jeglicher
Restdruck im System entlüften kann. Schließen Sie den stromaufwärts gelegenen Schlauch
wieder an.
15. Gewährleisten Sie, das die mittlere Platte Baugruppe freie Bewegung hat. Heben Sie die Bau-
gruppe an und lassen Sie sie fallen, prüfen Sie dabei, dass sie unter ihrem eigenen Gewicht
wieder zurück in ihre Ausgangsposition fällt.
16. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
17. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
18. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2.7.10 Mittlere Platte Pneumatikzylinder Austausch
Es gibt zwei mittlere Platte Pneumatikzylinder pro APC-Modul, falls ein Austausch erforderlich ist,
dann müssen beide Zylinder in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.
2.7.10.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 71
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)
(in 4 Positionen) vom ersten Führungsschlitten. Lassen Sie die Pneumatik Rohrbogen (2) (in
2 Positionen) am Führungsschlitten (1) und (3) befestigt.
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5. Bewegen Sie den Führungsschlitten von dessen Halterung und lassen Sie ihn über der Hin-
terseite des Moduls hängen, das Gewicht wird durch die immer noch befestigten, pneumati-
schen Anschlüsse gestützt.
6. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 5 für den anderen Führungsschlitten.
7. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie Buchsenkopfschrauben
(2) (in 2 Positionen) und Ausgleichscheiben (1) (in 2 Positionen) von der mittleren Platte.
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8. Für den Zugang mit dem Schraubenschlüssel, heben Sie die mittlere Platte leicht an. Benut-
zen Sie einen 5,5 mm AF Maulschlüssel (1), um zu verhindern, dass die Zylinderstange sich
dreht, entfernen Sie die Hubzylinder Ansatzschrauben, welche die mittlere Platte mit dem
Hubzylinder verbinden.
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9. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel (2), entfernen Sie die Senkkopfschrau-
be (3), welche den Sensor (4) an der mittleren Platte befestigt. Führen Sie den Sensor wieder
zurück durch das Durchgangsloch.
10. Entfernen Sie the mittlere Platte Baugruppe (3).
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11. Trennen Sie die blauen Pneumatikröhren von dem Rohrbogen des Hubzylinders, notieren Sie
sich dabei, welches Rohr zu welchem Anschluss gehört.
12. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie the Kopfschrauben (1),
welche den Hubzylinder (2) am Unteraufbau sichern.
13. Entfernen Sie den Hubzylinder.