03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA - 第75页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 75 14. Benutzen Sie das Trennschalterventil (1), um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen wieder her- zustellen. Prüfen S…
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
74 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
8. Führen Sie den Sensor wieder zurück durch das Durchgangsloch. Sichern Sie den Sensor an
der mittleren Platte mit Hilfe eines 2,5 mm Innensechskantschlüssels und der Senkkopf-
schraube.
9. Mit der mittleren Platte in der abgesenkten Position, installieren Sie die 2 Ansatzschrauben
und ziehen Sie sie fest, bis die Zylinderstangen sich zu drehen beginnen.
10. Um die Ansatzschrauben vollständig festzuziehen, heben Sie die mittlere Platte leicht an. Be-
nutzen Sie einen 5,5 mm AF Maulschlüssel (1), um zu verhindern, dass sich die Zylinderstan-
ge dreht, ziehen Sie die Hubzylinder Ansatzschrauben vollständig fest.
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11. Heben Sie den Führungsschlitten (1) und (3) und fügen Sie ihn erneut ein gemäß des Schie-
beantriebaustauschs. Austausch erfolgt wie im Vorgang in den Schritten 2 bis 7 zu Beginn
dieses Abschnitts dargestellt.
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12. Wiederholen Sie Schritt 11 für den anderen Führungsschlitten.
13. Zentralisieren Sie die mittlere Platte Baugruppe auf der X-Achse.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 75
14. Benutzen Sie das Trennschalterventil (1), um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen wieder her-
zustellen. Prüfen Sie, dass die Zimmer-Klemmen gespannt worden sind.
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Sitz des APC Pneumatikverteilers
15. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, setzen Sie die Zylinderschrauben (2) (in
2 Positionen) wieder ein und die Ausgleichsscheiben (1) (in 2 Positionen), welche an der mitt-
leren Platte des Wellenführungaufbaus befestigt werden.
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16. Benutzen Sie das Trennschalterventil, um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen zu trennen.
Trennen Sie den stromaufwärts gelegenen Schlauch vom Trennschalter, damit sich jeglicher
Restdruck im System entlüften kann. Schließen Sie dne stromaufwärts gelegenen Schlauch
wieder an.
17. Gewährleisten Sie, das die mittlere Platte Baugruppe freie Bewegung hat. Heben Sie die Bau-
gruppe an und lassen Sie sie fallen, prüfen Sie dabei, dass sie unter ihrem eigenen Gewicht
wieder zurück in ihre Ausgangsposition fällt.
18. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
19. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
20. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
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2.7.11 Zimmer-Klemme Austausch
Es gibt zwei Klemmen pro APC-Modul, falls ein Austausch erforderlich ist, dann müssen beide
Klemmen in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.
2.7.11.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen Schlitzschraubendreher, entfernen Sie den Pneumatik Rohrbogen (2) (in
2 Positionen).
HINWEIS
Das Markieren der Rohrbogen A und B hilft beim Neuzusammenbau. Notieren Sie sich eben-
falls die Ausrichtung.
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5. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie den Klemmenbefesti-
gungsblock (1) behalten Sie die Kopfschrauben (3) (in zwei Positionen) zurück.
6. Entfernen Sie die Klemme und den Klemmenbefestigungsblockaufbau.
7. Benutzen Sie einen 2 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie the Kopfschrauben (3),
welche die Klemme (1) am Klemmenbefestigungsblock (2) befestigen.
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8. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 7 für die andere Klemme.