03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA - 第77页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 77 2.7.11.2 Austauschen 1. Bereiten Sie die neue Klemme vor, indem Sie alle Oberflächen mit IPA-Tüchern reinigen, um …
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
76 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.11 Zimmer-Klemme Austausch
Es gibt zwei Klemmen pro APC-Modul, falls ein Austausch erforderlich ist, dann müssen beide
Klemmen in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.
2.7.11.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen Schlitzschraubendreher, entfernen Sie den Pneumatik Rohrbogen (2) (in
2 Positionen).
HINWEIS
Das Markieren der Rohrbogen A und B hilft beim Neuzusammenbau. Notieren Sie sich eben-
falls die Ausrichtung.
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5. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie den Klemmenbefesti-
gungsblock (1) behalten Sie die Kopfschrauben (3) (in zwei Positionen) zurück.
6. Entfernen Sie die Klemme und den Klemmenbefestigungsblockaufbau.
7. Benutzen Sie einen 2 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie the Kopfschrauben (3),
welche die Klemme (1) am Klemmenbefestigungsblock (2) befestigen.
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8. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 7 für die andere Klemme.
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2.7.11.2 Austauschen
1. Bereiten Sie die neue Klemme vor, indem Sie alle Oberflächen mit IPA-Tüchern reinigen, um
zu gewährleisten, dass das Transportschmierfett entfernt wurde. Besondere Aufmerksamkeit
sollte hierbei der Kolbenoberfläche geschenkt werden.
2. Benutzen Sie einen 1,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die schützende Stanz-
schraube von Anschluss B und die Entlüftungsschraube von Anschluss A auf der Klemme.
3. Mit Hilfe einer flachen Oberfläche und einem quadratischen Block (1), legen Sie die Befesti-
gungsblockkanten bündig mit den Klemmenkanten. Sichern Sie die Klemme am Befesti-
gungsblock mit Hilfe eines 2 mm Innensechskantschlüssels und der Kopfschrauben.
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4. Wiederholen Sie die Schritte 1 bis 3 für die andere Klemmenbaugruppe.
5. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Zylinderschrauben (1)
(in 2 Positionen) und die Ausgleichscheiben (2) (in 2 Positionen) von der mittleren Platte. Tra-
gen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die Schrauben auf und passen Sie sie lose
wieder ein, damit die mittlere Platte sich frei bewegen kann.
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6. Installieren Sie die Klemmenbaugruppe (2) in die Unterseite der Baugruppe, achten Sie
darauf, dass die Baugruppe nach unten geschoben werden kann und die Linearschiene (1)
umgibt.
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7. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, sichern Sie die Klemmenbaugruppe an
der Unterseite der Baugruppe (1).
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8. Benutzen Sie einen Schlitzschraubendreher, schließen Sie die Rohrbogen (2) (in 2 Positio-
nen) wieder an die Klemmenbaugruppe an. Achten Sie darauf, dass die Rohrbogen korrekt
ausgerichtet sind und an die korrekten Anschlüsse befestigt wurden (notiert/markiert bei
Schritt 4 des Entfernungsvorgangs).
9. Wiederholen Sie die Schritte 6 bis 8 für die andere Klemmenbaugruppe.