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NPM-W 2 EJM7DC-MB-05M-05 ACTIVATION ACTIVATION 5-3-1 -2 每 1 4 0 小 时 保 养 定 期 检 查 确认提示 卸下交换台车 ( → P.3-2) 前侧 OFF SERVO 1 2 4 3 6 5 8 锁杆 7 把供料器工作台盖 往内推 ( 前侧 / 后侧的 X 轴移动到退 避位置 ) ( 基板支撑块上升 ) 用棉纱布盖在多功 能识别照相机上 按住锁杆往下推 顺序 9 ●请不要倚…
NPM-W2 EJM7DC-MB-05M-05
基板支撑
块的清扫
基板支撑块 (单传送带规格)
的清扫 1
5-3-1-1
维修保养篇
5-3-1
■基板支撑块(标准)时
AA
AA
传送带
基板支撑块
前侧
后侧
基板
支撑块
型号
基板支撑块的概率图
背面 正面
A N610118877AB
■基板支撑块(自动更换用)时(选购件)时
BB
BB
传送带
基板支撑块
前侧
后侧
基板
支撑块
型号
基板支撑块的概略图
背面 正面
B N610145049AB
在这里对基板支撑块(标准/自动更换用(选购件))的清扫步骤加以说明。
●基板支撑块和基板座上如果有灰尘，是造成基板支撑块安装不良、基板破损的原因。
●从前侧执行清扫作业。
使用工具: 棉纱布、刷子等 所需时间: 10 分钟
NPM-W2 EJM7DC-MB-05M-05
ACTIVATION ACTIVATION
5-3-1-2
每
1
4
0
小
时
保
养
定
期
检
查
确认提示
卸下交换台车
(→P.3-2)
前侧
OFF
SERVO
1
2
4
3
6
5
8
锁杆
7
把供料器工作台盖
往内推
(前侧/后侧的X轴移动到退
避位置)
(基板支撑块上升)
用棉纱布盖在多功
能识别照相机上
按住锁杆往下推
顺序
9
●请不要倚靠在供料器工作台
盖上，或者在盖上放置物品。
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ACTIVATION ACTIVATION
基板支撑
块的清扫
维修保养篇
5-3-1
5-3-1-3
9
卸下基板支撑块
●基板支撑块：4枚
●请注意不要在多功能识别照相机上掉落物体或者撞击。
●当在基板支撑块上存在支撑销时，请小心不要掉落。
挡块
基板支撑块
●用两手慢慢拉出。往下按住挡块
拉出内侧的基板支撑块。
SERVO
ON
15
16
14
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
17
18
(确认基板支撑块下降到原点)
确认提示
基板支撑块 (单传送带规格)
的清扫 2