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NPM-W 2 EJM7DC-MB-06M-0 5 基板检测传感器的清扫 1 使用工具 : 棉棒 所需时间 : 单轨传送带 :10 分钟 双轨传送带 :15 分钟 6-9 -1 1 卸下交换台车 ( → P.3-2) 2 将传送带宽度调整 为 150 mm ( → 『操作篇』 P.2-5-4) 基板传送带 对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 ( → P.14-8) ●为了更有利于操作 维修保养篇 6-9 3 OFF SERVO 安装交…
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EJM7DC-MB-06M-05
6-8-2
定
期
检
查
每
5
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0
小
时
保
养
对安全开关(安全盖)的检查方法进行说明。
使用工具:不要 所需时间:2 分钟
●顺序 至 ，是从设备前侧进行，顺序 是从设备的后侧进行操作。
1
2
3
(显示「输入确认」画面显示)
3
按一次 键
打开前侧安全盖后，确认
・[安全盖1]
・[安全盖3]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
4
打开后侧安全盖后，确认
・[安全盖2]
・[安全盖4]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
431
1
2
4
安全开关(安全盖)的检查
NPM-W2
EJM7DC-MB-06M-05
基板检测传感器的清扫 1
使用工具:棉棒 所需时间: 单轨传送带 :10 分钟 双轨传送带 :15 分钟
6-9-1
1
卸下交换台车
(→P.3-2)
2
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
基板传送带
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。(→ P.14-8)
●为了更有利于操作
维修保养篇
6-9
3
OFF
SERVO
安装交换台车
(→P.3-2)
SERVO
ON
10
9
8
7
把供料器工作台
盖恢复到原来状
态
NPM-W2
EJM7DC-MB-06M-05
6-9-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
4
6
5
把供料器工作台
盖往内推
清扫基板检测传感器部
●基板检测传感器(6个)
・透过类型:4个
(一对受光器和投光器的为一个)
・反射类型:2个
●使用棉棒。
基板检测传感器
(反射类型)
基板检测传感器(透过类型)
基板传送带
■单轨传送带时
●基板检测传感器的各轨道(5个)
・透过类型:4个
(一对受光器和投光器为一个)
・反射类型:2个
■双轨传送带时
●请不要倚靠在供料器工作台
盖上，或者在盖上放置物品。