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NPM-W 2 EJM7DC-MB-12M-07 12-1 -4 10 调整皮带张力 ( → P.6-5) 13 安装交换台车 ( → P.3-2) 14 15 确认基板传送 11 解锁 ON ( → 『 操作篇 』 P.2-5-5) E F 可动侧 固定侧 可动侧 固定侧 轨道 1 侧 轨道 2 侧 12 安装供料器工作台 盖 ( → P.3-3) ● 5 个螺丝 ●步骤⑨ 基板传送带可动轨的箭头图 安装夹具 ● 小心防止螺丝脱落
NPM-W2 EJM7DC-MB-12M-07
12-1-3
■单轨传送带:8条
■双轨传送带: 各轨道上6条
换上新皮带
●事先拧松张力滑轮的螺丝。(各4个)
张力滑轮
●事先拧松张力滑轮的螺丝。(各3个)
9
●有关皮带的正面、反面
正面: 无印文字 反面裏面: 有印文字
●安装皮带时，使皮带正面为基板传送面。
A
B
C
D-1
D-2
A
B
C
固定轨道：4条
可动轨道：4条
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
A
B
A
B
C
D-1
D-2
C
C
D-2
D-1
C
轨道1侧、轨道2侧固定轨道：8条
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
类型 使用部位
编号
皮带长度
[mm]
型号
单轨传送带
双轨传送带
相同
固定轨道
A 927 N510063692AA
B
1314.5 N510060975AA
可动轨道
C
727.5 N510060980AA
D-1
1174.5 N510060976AA
D-2
基板传送带的
传送皮带的更换 2
维修保养篇
12-1
轨道1侧可动轨道:4条 (P.12-1-4的箭头图E)
轨道2侧可动轨道:4条 (P.12-1-4的箭头图F)
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12-1-4
10
调整皮带张力
(→ P.6-5)
13
安装交换台车
(→P.3-2)
14
15
确认基板传送
11
解锁
ON
(→『操作篇』 P.2-5-5)
E
F
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
12
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
●5个螺丝
●步骤⑨ 基板传送带可动轨的箭头图
安装夹具
●小心防止螺丝脱落
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延长传送带 (选购件) 的
传送皮带的更换 1
12-2-1
1
卸下交换台车
(→P.3-2)
2
传送带宽度需要
150 mm(为了更
有利于操作)
前侧
当在下游工序上存在延长传送带时的更换方法，在这里通过前侧的作业进行说明。
使用工具:六角扳手(2 mm) 所需时间:30~60分钟
●前基准时请在前侧操作，后基准时请卸下托盘供料器后，在后侧操作。(→P.14-8)
维修保养篇
12-2
4
3
主电源开关置于
OFF，上锁
OFF
45
前侧
6
7
可动侧
固定侧
■单轨传送带:2条
■双轨传送带:4条(各轨道上1条)
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
皮带
卸下供料器工作台
盖
(→P.3-3)
卸下皮带
●往外拔，将其卸下。
●废弃时，使用钳子等切断后卸下。
把X轴往内推
(→『操作篇』 P.2-5-4)