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NPM-W 2 EJM7DC-MB-02M-03 2-1-6 -2 触摸屏 XY 单元 真空泵 后侧 前侧 ・ 后侧 前侧 ・ 后侧 概 要 真空泵 触摸屏 Y 轴电缆支架 Y 轴线性导轨 X 轴线性导轨 X 轴电缆支架
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03
概要
各单元定期检查部位 1
＜各类型共同点＞
各种压力表
元件排出箱
2-1-6-1
维修保养篇
2-1-6
前侧
后侧
主气压
前侧・后侧
真空泵供给压
清扫吹气压
真空破坏压
元件排出箱
选购件气压
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03
2-1-6-2
触摸屏
XY单元
真空泵
后侧
前侧・后侧
前侧・后侧
概
要
真空泵
触摸屏
Y轴电缆支架
Y轴线性导轨
X轴线性导轨
X轴电缆支架
NPM-W2 EJM7DC-MB-02M-03
概要
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
2-1-6-3
维修保养篇
2-1-6
前侧・后侧
*在基板检测传感器的各轨道上，存在4
种透过类型、2个反射类型。
延长传送带
前侧
■单轨传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带
■双轨传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带
■双轨传送带
■单轨传送带
线性导轨
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板支撑块
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
基板检测
传感器
线性导轨
基板传送皮带
基板传送皮带
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
基板传送皮带
基板检测传感器
基板检测传感器
基板检测传感器