BM221 Parts list(Mechanical20140224) - 第372页
ﾍｯﾄﾞ 部(吸着位置 確認ｶﾒﾗ 部） HEAD S ECT.(VACUUM PO SITION CONFI RMATION CA MERA SECT.) 35 FN610031876AA_01 M341
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART NAME
REMARKS
Q'TY
35
ﾍｯﾄﾞ部(吸着ｾﾝｻ部)
HEAD SECT.(VACUUM SENSOR SECT.)
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 1086229800
HEAD UNIT ﾍｯﾄ
ﾞﾕﾆｯﾄ
1
802 1086229802
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1
803 1086229803
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
PSE200-MB4C
1
N801
N445PSE2-067
CONTROLLER ｺﾝﾄﾛｰﾗ
PSE541-R06-C1
1
N802
N510006468AA
SENSOR ｾﾝｻ
KQ2T08-06
1
N803
N431KQ2T0806
FITTING ﾂｷﾞﾃ
M340
F10862-29-800-AB
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
35
FN610031876AA_01
M341
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART NAME
REMARKS
Q'TY
35
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 N610031876AA
CAMERA UNIT ｶﾒﾗﾕﾆｯﾄ
1
652 1086209602
HOLDER ﾎﾙﾀﾞ
1
653 108620962302
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1654 108620965401
SPACER ｽﾍﾟｰｻ
99YA
1
N651
N94199YA
LENS ﾚﾝｽ
ﾞ
CS8630i-03 S
1
N652
N510023803AA
CAMERA ｶﾒﾗ
M342
FN610031876AA_01