YS24X_Ope_C - 第121页
2-44 2 4.3.1 将元件托盘装入载盘 1 张载盘上可以装入多张元件托盘。安装方法，如下所示。 1 取出固定元件托盘用的磁块。 2 将元件托盘装入载盘。 将元件托盘角对准载盘位置基准 ( 载盘原点 ) 装入。托盘装好后用磁块压住固定。 元件托盘的固定 1张托盘的情况 多张托盘的情况 托盘间距X 固定用磁块 固定用磁块 托盘 托盘间距Y 载盘位置基准 (载盘原点) 25229-L4-00 3 确认元件托盘的固定状态。 试按托盘部分，…
2-43
2
4.3 托盘交换器 (sATSII)
■ 载盘与载料箱的使用注意事项
使用载盘与载料箱时，务必遵守下列注意事项。
‧
载盘与载料箱必须在干净的环境中保管，切勿附着尘屑、脏污、油渍等。
‧
切勿使载盘或载料箱跌落，也切勿过度撞击或施加压力。
因跌落等导致变形的载盘或载料箱，切勿使用。
‧
载盘与载料箱的棱角部可能会造成受伤，使用时务必注意。
‧
移动载料箱时，必须双手把住载料箱顶部的左右把手，水平移动。
‧
如照片 A，务必将防止载盘滑落的止动杆嵌入到位后再搬动载料箱 ,
以防止载料箱中的载盘滑落。
‧
将载料箱装入 sATSII 的装载柜中时，如照片 B，务必先将防止载盘滑落的止动杆向上拉起并叠放在载料箱顶。
顶部左右把手也务必折叠。
照片A
移动载料箱时
把手
上下嵌入防止载盘滑落的止动杆
25227-L4-00
照片B
将载料箱装入装载柜中时
折叠把手
向上拉起止动杆叠放在载料箱顶
25228-L4-00
2-44
2
4.3.1 将元件托盘装入载盘
1 张载盘上可以装入多张元件托盘。安装方法，如下所示。
1
取出固定元件托盘用的磁块。
2
将元件托盘装入载盘。
将元件托盘角对准载盘位置基准 ( 载盘原点 ) 装入。托盘装好后用磁块压住固定。
元件托盘的固定
1张托盘的情况
多张托盘的情况
托盘间距X
固定用磁块
固定用磁块
托盘
托盘间距Y
载盘位置基准
(载盘原点)
25229-L4-00
3
确认元件托盘的固定状态。
试按托盘部分，确认托盘是否已由磁块固定牢固。
2-45
2
4.3.2 将载盘装入载料箱
1
将载料箱放置在水平位置。
2
打开载盘挡板。
边按压锁杆，边向下拉开载盘挡板。
载盘挡板
锁杆
载盘挡板
25230-L4-00
3
插入载盘。
将载盘的拉出部朝向里侧，水平插入正确的载料箱层。
插入载盘直至轻微碰触到相反侧的载盘止动杆。( 更换载盘时，需先将用完的载盘从载料箱中抽出后再
插入新的载盘。)
载盘的插入
25231-L4-00