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4-1-17 5OM-1839 1603-001 本体 U01 I/O 部 2 18 19 21 GND(B) Di Do Do 架台下左パネル(U27) GND(B) Di GND(B) Di GND(B) Di GND(B) Di GND(B) Di Do Do Do Do Do :14 X2761 :15 :16 K65A 1 6 :17 :18 24A1 U27 :19 K66A 1 6 [02-3A] 安全カバーロック確認 安…

4-1-16
5OM-1839
1603-001
本体 U01 I/O 部 1
Aレーン ワーク要求TRO(前工程)
1
2
3
4
18
19
20
21
9
10
11
12
13
14
15
16
17
5
6
8
22
23
24
7
GND(B)
Di
Aレーン ワーク搬送TRI(前工程)
Bレーン ワーク要求TRO(前工程)
Bレーン ワーク搬送TRI(前工程)
Aレーン BOARD_END(前工程)OP
Bレーン BOARD_END(前工程)OP
Aレーン BOARD_END(後工程)OP
Bレーン ワーク要求TRI(後工程)
Aレーン ワーク搬送TRO(前工程)
Bレーン ワーク搬送TRO(前工程)
Aレーン ワーク要求TRI(後工程)
Bレーン BOARD_END(後工程)OP
前後IF
1
2
3
4
5
6
7
8
11
13
14
15
16
17
18
19
20
GND(B)
24V(B)
Di
GND(B)
24V(B)
Di
GND(B)
Di
GND(B)
Di
GND(B)
24V(B)
Di
24V(A)
Do
24V(A)
Do
雷サージ異常
フィーダ電源投入 (B1)
フィーダ電源投入 (B2)
真空ポンプブレーカ遮断
架台下左パネル
NC
:1
X20126
K75
A2A1
:2
K77
A2A1
24A3
[02-5B]
Q205
1413
:8
:7
F201
F202
F203
X10126
:1
:2
:1
:2
1
2
3
4
GND(B)
1
2
3
4
5
6
10
24A6
10
24A6
[02-3A/3B]
[02-2C]
10
24A3
10
10
24A1
24A3
24V(A)24V(B)
24V(B)
24V(A)
24V(A)
GND(B)
GND(A)
GND(A)
GND(A)
X1
X2
CN26
CN28
24A3
24A3
本体左(後)
1
2
4
24V(A)
Do
本体左(前)
CN30
GND(A)
Di
10
10
10
10
10
10
1
2
4
24V(A)
Do
CN32
GND(A)
Di
X0126
X0128
X01X1
U01
IO P.C.B
X0128A-F:1
:2
X0128B-F:1
:2
X0128BE-R:1
:2
X0128BED:1
:2
X0128E:1
:3
:4
:3
:4
:3
:4
:3
:4
X0128BE-F:1
:2
:2
X0128A-R:1
:2
X0128B-R:1
:2
Di
Di
Di
GND(B)
Di
RLY4
RLY5
RLY6
RLY7
RLY8
RLY9
Do
Di
GND(B)
Di
GND(B)
OUT1
OUT2
-
BK
O
BL
FCT6-21
吸着ミス部品検出(B21)リアル
吸着ミス部品検出(B22)リアル
10
:1
:2
M
M112-1
BK
Y
R
:2
XM112
:1
:3
24A6
10
H12FAN1
ヘッド12ファン異常
:2
M112-1
:1
:3
3
3
X0130
M
M111-1
BK
Y
R
:2
XM111
:1
:3
24A6
10
H11FAN1
:2
M111-1
:1
:3
X0132
M
M121-1
BK
Y
R
:2
XM121
:1
:3
24A6
10
H21FAN1
:2
M121-1
:1
:3
ヘッド11ファン異常
ヘッド21ファン異常
+
BR
:4
9
24V(B)
24A6
24V(B)
12
:4
24A6
OUT1
OUT2
-
BK
O
BL
FCT6-22
+
BR
M
M111-2
BK
Y
R
H11FAN2
:2
M111-2
:1
:3
M
M121-2
BK
Y
R
H21FAN2
:2
M121-2
:1
:3
M
M112-2
BK
Y
R
H12FAN2
:2
M112-2
:1
:3
:5
:3
:5
:3
:1
:2
:4
:3
BH21
:1
:2
:4
:3
BH22
FCT6
FCT6
:1
:2
X015X
U01-CN51
U01-CN52
:1
:2
X015X

4-1-17
5OM-1839
1603-001
本体 U01 I/O 部 2
18
19
21
GND(B)
Di
Do
Do
架台下左パネル(U27)
GND(B)
Di
GND(B)
Di
GND(B)
Di
GND(B)
Di
GND(B)
Di
Do
Do
Do
Do
Do
:14
X2761
:15
:16
K65A
1 6
:17
:18
24A1
U27
:19
K66A
1 6
[02-3A]
安全カバーロック確認
安全カバー開閉モニタ
非常停止検出
POWER ON
非常停止スイッチ
DC負荷電源投入制御
安全カバーロック (B2)
メイン電源遮断
安全カバーロック (B1)
真空ポンプ電源制御
K43
12 1
K25
1 5
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
14
15
16
17
:21
Di
13
カート部カバー検出
:4
:3
10
S105B
:12
:11
10
S105F
XS105B
:5
:6
:5
:6
XS105F
S132F
22 21
S132B
22 21
S132
:3
S132
:3
:3
:4
:3
:4
:5
:6
:5
:6
:4
:4
X2725
X2728
X2741
X2742
U27
:6
:5
:2
:1
X2761
10
10
K2A
12 9
:9
:10
10
CN25
20
Do
:20
:3
X2723
K29
A1 A2
X0125
U01
IO P.C.B
X27150
:9
:10
K3
1314
K4
X1
:13
:9
X2709
Di
22
:23
:12
X2709
(後側)
(前側)
S132F
52 51
S132B
52 51
S132
:7
S132
:7
:8
:8
:7
:8
:7
:8
X2741
X2742
:8
:7

4-1-18
5OM-1839
1603-001
本体 U01 I/O 部 7
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
XYビーム緊急停止(11)
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
XYビーム緊急停止(12)
ヘッド緊急停止(11)
ヘッド緊急停止(12)
安全リレーK4補助出力
To Motion Ctrl(S1)
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
XYビーム緊急停止(21)
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
XYビーム緊急停止(22)
ヘッド緊急停止(21)
ヘッド緊急停止(22)
安全リレーK4補助出力
To Motion Ctrl(S2)
CPU2 : U82
(モーションコントロール基板)
CN8
CN9
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
24V(A)
Do
フィーダベース
CN27
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
UP_RXD_0(+)
GND
LVDS UP PORT
UP_RXD_0(-)
UP_TXD_0(+)
GND
GND
GND
FG
FG
FG
FG
UP_TXD_0(-)
DN_TXD_0(+)
GND
LVDS DN PORT
DN_TXD_0(-)
DN_RXD_0(+)
GND
GND
GND
FG
FG
FG
FG
DN_RXD_0(-)
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
GND
LVDS T PORT
GND
GND
GND
FG
FG
FG
FG
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
U85(高速I/Oホストボード)
X8504
[44-3B]
:1
CN1
CN2
CN3
24A3
24A3
24A3
24A3
GND(A)
24A3
24A3
24A3
24A3
GND(A)
X0108
X0109
X0101
X0102
X0103
:23
:1
:48
:2
:47
:22
:23
:1
:48
:2
:23
:1
:48
:2
:47
:22
:23
:1
:48
:2
CPU2 : U83
(モーションコントロール基板)
[42-2B]
X8203
[42-2C]
X8204
[43-2B]
X8303
[43-2C]
X8304
U01
IO P.C.B
:2
:3
:4
:5
:6
:7
:8
:9
予備
GND
FG
GND
GND
GND
前側一括コネクタ
X1300C1
[30-3C]
:1
:2
:3
:4
:5
:6
:7
:8
:9
GND
FG
GND
GND
GND
安全回路:補助出力(モニタ)
GND(A)
K4-X1(CN15)
Do
IL(内部ロジック)
安全回路:補助出力(モニタ)
Do
GND(A)
T_TXD_0(+)
T_TXD_0(-)
T_RXD_0(+)
T_RXD_0(-)