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3-1-20 5OM-1839 1603-001 部品配置図 側面パネル後 B 面 A 面 B 面
3-1-19
5OM-1839
1603-001
部品配置図
側面パネル後 A 面
A
面
B
面
K3
K4
K1B
K75
K77
Symbol Block Parts Name Model Qt Main Applications
K3 BA K3 G9SA-321-T075 1
K4 BA K4 G98X-NSA 222-T03RC 1
K1B BA RELAY G7J-4A-B 1
K77 BA RELAY G7J-4A-B 1
K75 BA RELAY G7J-4A-B 1
3-1-20
5OM-1839
1603-001
部品配置図
側面パネル後 B 面
A
面
B
面
3-1-21
5OM-1839
1603-001
部品配置図
SIDE B
真空ポンプ
搬送パネル