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3-1-23 5OM-1839 1603-001 部品配置図 真空ポンプ
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5OM-1839
1603-001
部品配置図
搬送パネル
標準 搬送パネル Y510mm シングル搬送パネル
A47
U08
A45
U08
A41A41
Symbol Block Parts Name Model Qt Main Applications
U08 N P.C.B. Mount UB95 1 IO 基板
A41 N Unit Driver D4920 1 モータドライバ
A45 N Unit Driver D4460 1 モータドライバ
A47 N Unit Driver D4940 0 or 1 モータドライバ
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部品配置図
真空ポンプ
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部品配置図