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2-1-1 5OM-1839 1603-001 真空ポンプ 正面 マニーホールド1 マニーホールド2 真空/一括 排気バルブ エアーキョウキュウ2 エアーキョウキュウ1 Ｓ141 Ｍ66 Ｙ0938 Ｙ0939 真空/一括 排気バルブ Ｙ0638 Ｙ0639 センサ負荷配置図 記 号 名 称 記 号 名 称 M66 真空ポンプ Y0638 真空 / 一括廃棄切替 Y0938 真空 / 一括廃棄切替 Y0639 高速 / 多機能切替 Y0…
5OM-1839
2-B1603-001
2-1-1
5OM-1839
1603-001
真空ポンプ
正面
マニーホールド1
マニーホールド2
真空/一括
排気バルブ
エアーキョウキュウ2
エアーキョウキュウ1
Ｓ141
Ｍ66
Ｙ0938
Ｙ0939
真空/一括
排気バルブ
Ｙ0638
Ｙ0639
センサ負荷配置図
記 号 名 称 記 号 名 称
M66 真空ポンプ
Y0638 真空 / 一括廃棄切替 Y0938 真空 / 一括廃棄切替
Y0639 高速 / 多機能切替 Y0939 高速 / 多機能切替
S141 エア圧低下検出
架台下レイアウト
2-1-2
5OM-1839
1603-001
センサ負荷配置図
POWER ON
START
STOP
PNL CHANGE
B
D A
S101
H101
S102
H102
S103
S104
H104A
H104B
S105
C
操作パネル
非常停止
操作スイッチ
記 号 名 称 記 号 名 称
S101 POWER ON PB
H101 POWER ON LED
S102 START
H102 STARTLED
S103 STOP
H104B LOCKLED
S104 PNL CHANGE
H104A PNL CHANGELED
S105 非常停止操作スイッチ
パネルレイアウト