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2-1-2 5OM-1839 1603-001 センサ負荷配置図 POWER ON START STOP PNL CHANGE B D A S101 H101 S102 H102 S103 S104 H104A H104B S105 C 操作パネル 非常停止 操作スイッチ 記 号 名 称 記 号 名 称 S101 POWER ON PB H101 POWER ON LED S102 START H102 STARTLED S103 ST…
2-1-1
5OM-1839
1603-001
真空ポンプ
正面
マニーホールド1
マニーホールド2
真空/一括
排気バルブ
エアーキョウキュウ2
エアーキョウキュウ1
Ｓ141
Ｍ66
Ｙ0938
Ｙ0939
真空/一括
排気バルブ
Ｙ0638
Ｙ0639
センサ負荷配置図
記 号 名 称 記 号 名 称
M66 真空ポンプ
Y0638 真空 / 一括廃棄切替 Y0938 真空 / 一括廃棄切替
Y0639 高速 / 多機能切替 Y0939 高速 / 多機能切替
S141 エア圧低下検出
架台下レイアウト
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1603-001
センサ負荷配置図
POWER ON
START
STOP
PNL CHANGE
B
D A
S101
H101
S102
H102
S103
S104
H104A
H104B
S105
C
操作パネル
非常停止
操作スイッチ
記 号 名 称 記 号 名 称
S101 POWER ON PB
H101 POWER ON LED
S102 START
H102 STARTLED
S103 STOP
H104B LOCKLED
S104 PNL CHANGE
H104A PNL CHANGELED
S105 非常停止操作スイッチ
パネルレイアウト
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センサ負荷配置図
H1
S132F
M102
S131B
M101
記 号 名 称 記 号 名 称
H1 タワー灯
S132F カバーロック ( 前側 ) S131B カバーロック ( 後側 )
M101 天井 ( 左 ) 冷却ファン M102 天井 ( 右 ) 冷却ファン
カバーレイアウト