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3
章
部品配置図
この章では、各部のレイアウトなどを記載しています。
高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分ご注意ください。
5OM-1839
3-B1603-001
3-1-1
5OM-1839
1603-001
部品配置図
架台下レイアウト（全体）
側面パネル 前
側面パネル 中
側面パネル 後
③
④
⑤
電源ブレーカ
ノイズフィルタ
照明コントロール基板
サーボアンプ ( 前 )
CPU1
CPU2
①
②
⑦
⑨
⑪
⑫
搬送パネル
真空ポンプ
⑭
⑮
リレー基板
集約基板
サーボアンプ ( 後 )
DC
電源ユニット
⑥
⑧
⑩
⑬
REAR
SIDE B
FRONT
SIDE A
⑭
⑬
⑧
⑦
⑩
⑥
⑤
④
③
① ②
⑨
⑪
⑫
⑮