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3-1-16 5OM-1839 1603-001 部品配置図 側面パネル前 内側 外側 内側 F201-203 Q205 K29 K28 K10 Q221A Q221B Q206 Symbol Block Parts Name Model Qt Main Applications Q205 BA CIRCUIT-PROTECTOR BM3RSB-004 1 真空ポンプ Q206 BA BREAKER BW50RAGU-3P030 1 C…
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1603-001
部品配置図
SIDE A
側面パネル 前
側面パネル 後
側面パネル 中
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1603-001
部品配置図
側面パネル前 内側
外側
内側
F201-203
Q205
K29 K28 K10
Q221A Q221B
Q206
Symbol Block Parts Name Model Qt Main Applications
Q205 BA CIRCUIT-PROTECTOR BM3RSB-004 1 真空ポンプ
Q206 BA BREAKER BW50RAGU-3P030 1 CPU、制御電源、電源
Q221F BA BREAKER BW50RAGU-3P050 1 STAGE1 Servo
Q221R BA BREAKER BW50RAGU-3P050 1 STAGE2 Servo
K29 BA EM-CONTACTOR SD-Q11D 1 真空ポンプ電源制御
K28 BA EM-CONTACTOR SD-Q11D 1 CPU 電源投入
K10 BA EM-CONTACTOR SD-Q11D 1 ヘッド、コンベア、主電源投入
F201 ～ 203
BA FUSE_SPECIAL GP50 3 雷サージ用ヒューズ
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1603-001
部品配置図
側面パネル前 外側
外側
内側
F201-203
F200
TB:P1
Symbol Block Parts Name Model Qt Main Applications
F200 BA SEMICO-VARISTOR #R.A.V-781BXZ-4 1 雷サージ