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NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02 2-1-3 -83 基板搬出错误 基板搬入错误 内部工作的内存异常 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 试点胶识别的内部处理异常。 ( 内部工作的内存发生异常。 ) 请确认错误发生时的状况和错误内容 , 并联系本公司。 43524 基板搬入时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检测 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度。 4…
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
错误信息
故障排除篇
2-1-3
单一停止错误 42
2-1-3-82
识别参数异常(基准面积)
识别参数异常(大小面积
比)
识别参数异常(面积容许
上限)
识别参数异常(面积容许
下限)
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
试点胶识别数据的总面积容
许下限值不正确。
(识别参数(面积容许下限)发
生异常。)
请确认总面积容许下限值。再次发生
时请联系本公司。
43520
试点胶识别数据的总面积容
许上限值不正确。
(识别参数(面积容许上限)发
生异常。)
请确认总面积容许上限值。再次发生
时请联系本公司。
43521
试点胶识别数据的大小面积
比容许值不正确。
(识别参数(大小面积比)发生
异常)
请确认大小面积比容许值。再次发生
时请联系本公司。
43522
试点胶识别数据的基准面积不
正确。
(识别参数(基准面积)发生异
常。)
请确认基准面积值。再次发生时请联
系本公司。
43523
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
2-1-3-83
基板搬出错误
基板搬入错误
内部工作的内存异常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
试点胶识别的内部处理异常。
(内部工作的内存发生异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
43524
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44000
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44001
错
误
对
策
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
错误信息
故障排除篇
2-1-3
单一停止错误 43
2-1-3-84
基板有错误
后工序要求OFF的超时
错误
基板搬出后传感器异常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44002
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值。
44003
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44004