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NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02 错误信息 故障排除篇 2-1-3 单一停止错误 46 2-1-3 -90 支撑销更换错误 支撑销安装错误 支撑销吸着错误 支撑销有错误 支撑销没有错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 支撑销的识别失败了。 ( 发生了单一停止错误。 ) 在准备画面 , 请将所有支撑销返回到 支撑销供给部。 请确认基板支撑块上面以及支撑销下 面是否附着有污物 , 并清扫。 44018 在不需要的地方…
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
2-1-3-89
支撑销支架下降错误
支撑销支架上升错误
基板停止位置传感器异
常
搬送马达异常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时检测了马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44014
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44015
基板支架的上升失败了。
(发生了单一停止错误。)
请确认基板支架上限传感器的状态。
44016
基板支架的下降失败了。
(发生了单一停止错误。)
请确认基板支架下限传感器的状态。
44017
错
误
对
策
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
错误信息
故障排除篇
2-1-3
单一停止错误 46
2-1-3-90
支撑销更换错误
支撑销安装错误
支撑销吸着错误
支撑销有错误
支撑销没有错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
支撑销的识别失败了。
(发生了单一停止错误。)
在准备画面, 请将所有支撑销返回到
支撑销供给部。
请确认基板支撑块上面以及支撑销下
面是否附着有污物, 并清扫。
44018
在不需要的地方有支撑销。
(发生了单一停止错误。)
请在准备画面使所有支撑销返回到支
撑销供给部。
44019
支撑销的吸着失败了。
(发生了单一停止错误。)
请清扫吸嘴、过滤器。并请在准备画
面使所有支撑销返回到原点位。
44020
支撑销的装着失败了。
(发生了单一停止错误。)
请清扫吸嘴、过滤器。并请在准备画
面使所有支撑销返回到原点位置部。
44021
支撑销的更换失败了。
(发生了单一停止错误。)
请在准备画面确认支撑销能进行更换
动作。
44022
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
2-1-3-91
支撑销2D码不一致错误
支撑销无更换吸嘴错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
支撑销更换用吸嘴全部被设为
不良吸嘴。
(发生了单一停止错误。)
请解除不良吸嘴的设定。
44023
支撑销更换用吸嘴的2D码不
正确。
(发生了单一停止错误。)
请确认支撑销更换用吸嘴交换器内的
吸嘴是否为支撑销更换用吸嘴。
44024
支撑销吸嘴交换器识别
错误
可考虑某种原因。
1)支撑销更换用吸嘴交换器的
识别标记在照相机的识别范
围之外。
2)因识别标记的污损等发生识
别错误。
(发生了单一停止错误。)
请确认支撑销更换用吸嘴交换器的标
记识别的状态。
44025
上位系统互锁错误
上位系统要求互锁。
请确认上位系统的状态。
44026
错
误
对
策