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NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02 检查箱 子系统 状 态异常 检查箱 子系统 样 本检查 错误 检查箱 子系统 检 查结果 数据 内存异常 检查箱 子系统 检 查处理 中断 错误信息 故障排除篇 2-1-4 紧急停止错误 43 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 检查处理中断了。 ( 检查处理中断了。 ) 请解除中断继续进行处理。 1888 软件处理执行了不正规的程 序。 ( 结果数据的内存领域不足。 ) 请重启动机…
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
检查箱 子系统 图像数据
不匹配错误
检查箱 子系统 检查结果
数据展开错误
检查箱 子系统 生产数据
传送错误
检查箱 子系统 生产数据
视野数据错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
生产数据的视野数据的取得
不能正常进行。
(生产数据的视野数据取得失
败了。)
请进行生产数据的最优化处理。
1884
软件处理执行了不正规的程序。
(没有向检查子系统传送生产
数据。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1885
软件处理中进行了不正当的
手续。
(无法检查。)
请重新启动机器。如果再次发生请联
系本公司。
1886
软件处理执行了不正规的程
序。
(读取图像的必要的视野图像
不存在。)
请重新读取基板的全体图像。
1887
2-1-4-83
错
误
对
策
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
检查箱 子系统 状态异常
检查箱 子系统 样本检查
错误
检查箱 子系统 检查结果
数据 内存异常
检查箱 子系统 检查处理
中断
错误信息
故障排除篇
2-1-4
紧急停止错误 43
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
检查处理中断了。
(检查处理中断了。)
请解除中断继续进行处理。
1888
软件处理执行了不正规的程
序。
(结果数据的内存领域不足。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1889
软件处理执行了不正规的程序。
(样本图像的检查处理失败
了。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1890
软件处理执行了不正规的程序。
(应用状态进入了异常状态。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1891
2-1-4-84
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-02
检查箱 子系统 生产数据
错误
检查箱 子系统 生产数据
未展开错误
检查箱 子系统 生产数据
展开错误
检查箱 子系统 标记补正
错误
检查箱 子系统 检查模板
数据作成错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
软件处理执行了不正规的程
序。
(检查模板数据的作成失败
了。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1892
软件处理执行了不正规的程序。
(标记结果信息的登录失败
了。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1893
软件处理执行了不正规的程序。
(检查箱发生系统错误。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1894
软件处理执行了不正规的程序。
(检查箱发生系统错误。)
请重启动机器。再次发生时请联系本
公司。
1895
生产数据的内容不正确。
(生产数据的内容不正确。)
请重新作成生产数据。之后请重新载
入生产数据。
1896
2-1-4-85
错
误
对
策