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MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图 NXT III 机械手册 85 3.10 混合校正单元传感器 No. 地址 信号名 1 RX007 混合 校正吸取确认 2 RY006 混合 校正吸取真空 ON 3 RY007 混合 校正吸取真空 OFF 2 1 3 2 1 3 01MEC-1381
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
84 NXT III 机械手册
M6-3 模组
No. 地址 信号名
1 CX000 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L
2 CX001 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R
3 CX005 轨道 1 搬运轨道真空支撑销确认
4 CX008 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 L
5 CX009 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 R
6 CX00D 轨道 2 搬运轨道真空支撑销检测
7 CX00F 轨道 2 基准搬运轨道支撑销检测
8 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
9 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
10 - 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
11 - 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
01MEC-0251
8
9
10
11
2
5
2
5
1
1
4
4
3
3
6
6
7
7
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 85
3.10 混合校正单元传感器
No. 地址 信号名
1 RX007 混合校正吸取确认
2 RY006 混合校正吸取真空 ON
3 RY007 混合校正吸取真空 OFF
2
1
3
2
1
3
01MEC-1381
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
86 NXT III 机械手册
3.11 电路板高度测定传感器
No. 地址 信号名
1 Y00A 电路板高度传感器 _ 零位移
2 Y00B 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
Ｌ
Ｌ
Ｒ
01MEC-1382
2
1
2
1
PH2