LmrNXT3 - 第110页
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0 86 NXT III 机械手册 3.11 电路板高度测定传感器 No. 地址 信号名 1 Y00A 电路板高度传感器 _ 零位移 2 Y00B 电路板高度传感器 _ 激光投射停止 Ｌ Ｌ Ｒ 01MEC-1382 2 1 2 1 PH2
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 85
3.10 混合校正单元传感器
No. 地址 信号名
1 RX007 混合校正吸取确认
2 RY006 混合校正吸取真空 ON
3 RY007 混合校正吸取真空 OFF
2
1
3
2
1
3
01MEC-1381
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
86 NXT III 机械手册
3.11 电路板高度测定传感器
No. 地址 信号名
1 Y00A 电路板高度传感器 _ 零位移
2 Y00B 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
Ｌ
Ｌ
Ｒ
01MEC-1382
2
1
2
1
PH2
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 87
3.12 料盘单元 -LT 传感器
3.12.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 紧急停止 SW
2 IN06 上部料盘箱安全门关闭确认
3 IN07 下部料盘箱安全门关闭确认
No. 地址 信号名
4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入
5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入
01MEC-0222b
2
1
3
4
5