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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0 88 NXT III 机械手册 3.12.2 料盘塔 No. 地址 信号名 1 IN1F 下部料盘箱锁定确认 2 IN1E 上部料盘箱锁定确认 3 IN1C 上部料盘箱设置确认 4 IN1D 下部料盘箱锁定确认 5 IN22 上部料盘箱料盘高度确认 （左） 6 IN23 上部料盘箱料盘高度确认 （右） 7 IN24 下部料盘箱料盘高度确认 （左） 8 IN25 下部料盘箱料盘高度确认 （…
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 87
3.12 料盘单元 -LT 传感器
3.12.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 紧急停止 SW
2 IN06 上部料盘箱安全门关闭确认
3 IN07 下部料盘箱安全门关闭确认
No. 地址 信号名
4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入
5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入
01MEC-0222b
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1
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5
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
88 NXT III 机械手册
3.12.2 料盘塔
No. 地址 信号名
1 IN1F 下部料盘箱锁定确认
2 IN1E 上部料盘箱锁定确认
3 IN1C 上部料盘箱设置确认
4 IN1D 下部料盘箱锁定确认
5 IN22 上部料盘箱料盘高度确认 （左）
6 IN23 上部料盘箱料盘高度确认 （右）
7 IN24 下部料盘箱料盘高度确认 （左）
8 IN25 下部料盘箱料盘高度确认 （右）
9 IN21 托架收存确认
10 IN20 料盘箱干涉确认
01MEC-0223a
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MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 89
3.12.3 往返搬运轨道
No. 地址 信号名
1 OUT20 往返搬运轨道开关夹紧
2 IN10 往返搬运轨道后退端
3 IN12 往返搬运轨道打开确认
4 IN11 往返搬运轨道夹紧确认
5 IN2E 元件废弃箱落座确认
6 IN13 往返搬运轨道料盘高度监视 （下）
7 IN14 往返搬运轨道料盘高度监视 （中）
8 IN15 往返搬运轨道料盘高度监视 （上）
9 IN04 往复臂料盘高度监视 （1.5 英寸）
30MEC-0292Sa
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