LmrNXT3 - 第118页
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0 94 NXT III 机械手册 3.13.4 排出元件轨道 No. 地址 信号名 1 IN04 不良元件排出许可确认 （Side） 2 IN03 不良元件排出许可确认 （中央） 3 IN05 不良元件 C/V 送料记数 T ray unit-L TC 3 2 1 01MEC-0504-a
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 93
3.13.3 往返搬运轨道
No. 地址 信号名
1 OUT20 往返搬运轨道开关夹紧
2 IN10 往返搬运轨道后退端
3 IN12 往返搬运轨道松开确认
4 IN11 往返搬运轨道夹紧确认
5 IN14 往返搬运轨道料盘高度监视 （中）
6 IN13 往返搬运轨道料盘高度监视 （下）
01MEC-0503a
1
2
3
4
Tray unit-LTC
6
5
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
94 NXT III 机械手册
3.13.4 排出元件轨道
No. 地址 信号名
1 IN04 不良元件排出许可确认 （Side）
2 IN03 不良元件排出许可确认 （中央）
3 IN05 不良元件 C/V 送料记数
Tray unit-LTC
3
2
1
01MEC-0504-a
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 95
3.14 料盘单元 -M 传感器
9
8
5
7
1
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4
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