LmrNXT3 - 第195页
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养 NXT III 机械手册 171 H12HS 工作 头 H12HSQ 工作头 元件侧面识别部 ( 仅仅是 H12SQ 工作 头 ) ●- - - - - - - 5 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20 升降杆内部 - - ● - - - - - 35 *18 升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10 Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - …
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
170 NXT III 机械手册
H08 工作头
H08Q 工作头
元件侧面识别部 ( 仅仅是
H08Q 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
*18
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H08M工作头
H08MQ 工作
头
元件侧面识别部 ( 仅仅是
H08MQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
升降杆端面 - ★ - - - - - - 20
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
*18
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 5
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 5
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 10
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 10
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 171
H12HS 工作
头 H12HSQ
工作头
元件侧面识别部 ( 仅仅是
H12SQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
*18
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
V12 工作头 反光镜 ● - - - - ▲ - - 2
元件侧面识别部 ● - - - - - - - 1
升降杆和升降杆内 O 型圈 - ★ - - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - ★ - - - - - - 10
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
*18
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
槽凸轮的槽 - - - - - - ★ - 5
元件相机镜头 - - - - - - - ● *9 10
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
172 NXT III 机械手册
H24 工作头 元件侧面识别部 ● - - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-30
60
升降杆内部 - - ● - - - - - 60
*18
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道 电路板通过确认传感器 - - - - - ● - - 5
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲ *10 10
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *10
软支撑销 - - - - - - - ● *11
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *12
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *10
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *13
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)