LmrNXT3 - 第196页
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0 172 NXT III 机械手册 H24 工作头 元件侧面识别部 ● - - - - - - - 5 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 25 升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10 Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 1 0 机械阀的 O 型圈 - - ■ - - - ▲ -3 0 60 升降杆内部 - - ● - - - -…
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 171
H12HS 工作
头 H12HSQ
工作头
元件侧面识别部 ( 仅仅是
H12SQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
*18
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
V12 工作头 反光镜 ● - - - - ▲ - - 2
元件侧面识别部 ● - - - - - - - 1
升降杆和升降杆内 O 型圈 - ★ - - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - ★ - - - - - - 10
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
*18
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
槽凸轮的槽 - - - - - - ★ - 5
元件相机镜头 - - - - - - - ● *9 10
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
172 NXT III 机械手册
H24 工作头 元件侧面识别部 ● - - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-30
60
升降杆内部 - - ● - - - - - 60
*18
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道 电路板通过确认传感器 - - - - - ● - - 5
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲ *10 10
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *10
软支撑销 - - - - - - - ● *11
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *12
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *10
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *13
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 173
XY 机械手
〈M3-3〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 *15 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
XS 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
XS 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - - ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-3〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - - ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
废料带处理
单元
导轨 - - - - - - ★ - 20
基座平板 - - - - - - ★ - 10
切刀 - - - - - - - ● *14 20
输送槽 - - - - - - - ● *15 15
刷子 - - - - - - - ▲ *16 20
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)