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5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0 200 NXT III 机械手册 8. 请确认以下的内容。 ·空气供应压 0.4MPa ～ 0.5MPa。 ·全部的过滤器处于已锁定状态 。 ·全部的机械阀在上升端。 备注 )下记插图是 H08 工作头，其他工作头也请同样进行操作。 9. 请打开空气压力阀，向贴装工作头供应空 气压力。 0(&6 䖛Ⓒ఼䫕ᅮ⢊ᗕ 䖛Ⓒ఼ᵒᓔ⢊ᗕ 01MEC-0528S 䯔ᓔ 䯔݇
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
200 NXT III 机械手册
8. 请确认以下的内容。
·空气供应压 0.4MPa ～ 0.5MPa。
·全部的过滤器处于已锁定状态。
·全部的机械阀在上升端。
备注 )下记插图是 H08 工作头，其他工作头也请同样进行操作。
9. 请打开空气压力阀，向贴装工作头供应空气压力。
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MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 201
10.V12 工作头的时候，请转动 R 轴，使清扫的升降杆移动到图示的位置。升降杆的上下动
作请在这个位置进行。
11.仅仅降低 1 根机械阀，向升降杆内供应空气。直到升降杆处不出灰尘的时候使升降杆上
下动作。
注意 )同时清扫复数的升降杆时空气压会降低清扫效果，请 1 根根进行。
备注 )下记插图是 H08 工作头，其他工作头也请同样进行操作。
12.请更换带有过滤器的过滤器套子。详细请参考 「5.6.4 贴装工作头真空过滤器的清
扫」。
13.用干净的布擦去升降杆侧面附着的灰尘，在清扫升降杆的同时请进行升降杆的加油。(
详细请参考 「5.5.1V12 工作头的升降杆外周、Q 轴齿轮 （下部升降杆侧）、升降杆内的
O 型圈的加油」、「5.6.8 对贴装工作头升降杆周围的加油」的升降杆加油部分。)
14.如果全部的升降杆清扫结束了，请提高工作头清扫器的拉杆，取下贴装工作头，安装侧
面盖板。
注意
操作时，请戴保护眼镜。降低机械阀的时候，在升降杆前端部有会灰尘，
有可能进入眼睛。
01MEC-0797S
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01MEC-0550