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5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0 252 NXT III 机械手册 5.10.2 真空泵过滤器的清扫 1. 拉出模 组。 （参考 「4.1 模组的 拉出 / 插入 」 ） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 从基座上拆除盖板。 4. 请将真空配管内设定为大气压。 5. 松开滤器套下面的螺栓，从过滤器上拆除 滤器套。 6. 从过滤器里取出滤芯。 7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。 8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重 时…
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 251
5.10 每 12000 小时的操作
5.10.1 湿气分离器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 请转动供应空气用的手柄，停止外部供应空气。
5. 请拔出空气软管，放松供应空气用手柄。排出管子内的空气。
6. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。
7. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
备注 )请将滤芯 Assy 向上安装在有孔的一面。
警告
当卸下基座上的防护罩、在开口部位进行作业时，请注意不要让其他的作
业人员拉出 / 插入模组。身体有可能被挤压而负重伤。
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5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
252 NXT III 机械手册
5.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 从基座上拆除盖板。
4. 请将真空配管内设定为大气压。
5. 松开滤器套下面的螺栓，从过滤器上拆除滤器套。
6. 从过滤器里取出滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
警告
更换作业请必须在切断机器主电源后进行。
警告
当卸下基座上的防护罩、在开口部位进行作业时，请注意不要让其他的作
业人员拉出 / 插入模组。身体有可能被挤压而负重伤。
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3.3 Nm
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MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 253
5.10.3 H01 工作头的加油
备注 )对于加油量少的加油作业，推荐使用治具的注射筒 （S61439） 。在注射筒上有刻度，
请作为加油量的基准。
1. 拆下贴装工作头。（详细请参考 「4.3 贴装工作头的拆除、安装」。)
2. 请用清洁的布擦去粘附在 Q 轴齿轮上的旧润滑油和污垢。
3. 取 0.1cc 的 Mobilith SHC460WT 到毛刷上。
4. 请用刷子在 Q 轴齿轮 (1) 部均匀地涂敷润滑油。
5. 用手动旋转 Q 轴齿轮 (1)，不浪费润滑油进行涂敷。
6. 请用清洁的布擦去粘附在 Z 轴滚珠丝杆 （2）上的旧润滑油和污垢。
7. 取 0.117cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。请用刷子在 Z 轴滚珠丝杆 （2）均匀地
涂敷润滑油。
8. 请用清洁的布擦去粘附在 Z 轴导轨 （3）上的旧润滑油和污垢。
9. 取 0.292cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。
10.请用刷子在 Z 轴导轨 （3）的轨道面上均匀地涂敷润滑油。
11.用手动将 Z 轴上下移动，使润滑油循环。
12.用清洁的布，擦去渗出的多余的润滑油。
润滑油 加油处 加油量 （cc）
Mobilith SHC460WT(Mobil) (1) Q 轴齿轮 0.1
Daphne Exponex No.2( 出光 ) (2) Z 轴滚珠丝杆 0.117
(3) Z 轴导轨 0.292