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MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养 NXT III 机械手册 253 5.10.3 H01 工作头的加油 备注 )对 于加油量少的加油 作业，推荐使用治具的注射筒 （S61439） 。在注射 筒上有刻度， 请作为加油量的基准。 1. 拆下贴装工作头。 （详细请参考 「4.3 贴装工作头的拆除、安装」 。) 2. 请用清洁的布擦去粘附在 Q 轴齿轮上的旧润滑油和污垢 。 3. 取 0.1cc 的 Mobilith SHC4 60…
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
252 NXT III 机械手册
5.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 从基座上拆除盖板。
4. 请将真空配管内设定为大气压。
5. 松开滤器套下面的螺栓，从过滤器上拆除滤器套。
6. 从过滤器里取出滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
警告
更换作业请必须在切断机器主电源后进行。
警告
当卸下基座上的防护罩、在开口部位进行作业时，请注意不要让其他的作
业人员拉出 / 插入模组。身体有可能被挤压而负重伤。
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3.3 Nm
3.3 Nm
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 253
5.10.3 H01 工作头的加油
备注 )对于加油量少的加油作业，推荐使用治具的注射筒 （S61439） 。在注射筒上有刻度，
请作为加油量的基准。
1. 拆下贴装工作头。（详细请参考 「4.3 贴装工作头的拆除、安装」。)
2. 请用清洁的布擦去粘附在 Q 轴齿轮上的旧润滑油和污垢。
3. 取 0.1cc 的 Mobilith SHC460WT 到毛刷上。
4. 请用刷子在 Q 轴齿轮 (1) 部均匀地涂敷润滑油。
5. 用手动旋转 Q 轴齿轮 (1)，不浪费润滑油进行涂敷。
6. 请用清洁的布擦去粘附在 Z 轴滚珠丝杆 （2）上的旧润滑油和污垢。
7. 取 0.117cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。请用刷子在 Z 轴滚珠丝杆 （2）均匀地
涂敷润滑油。
8. 请用清洁的布擦去粘附在 Z 轴导轨 （3）上的旧润滑油和污垢。
9. 取 0.292cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。
10.请用刷子在 Z 轴导轨 （3）的轨道面上均匀地涂敷润滑油。
11.用手动将 Z 轴上下移动，使润滑油循环。
12.用清洁的布，擦去渗出的多余的润滑油。
润滑油 加油处 加油量 （cc）
Mobilith SHC460WT(Mobil) (1) Q 轴齿轮 0.1
Daphne Exponex No.2( 出光 ) (2) Z 轴滚珠丝杆 0.117
(3) Z 轴导轨 0.292
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
254 NXT III 机械手册
5.10.4 H02/H02F 工作头的加油
备注 )对于加油量少的加油作业，推荐使用治具的注射筒 （S61439） 。在注射筒上有刻度，
请作为加油量的基准。
在工作头上部安装有防止 Z 轴落下的制动器。用手动将停止块移动时，请用手指压住制动器
的两端解除 （参考下图）。
1. 请拆下贴装工作头。（详细请参考 「4.3 贴装工作头的拆除、安装」。)
2. 拆除防止 Z 轴落下的制动器部分的盖罩。
3. 一边用手按住防止 Z 轴落下的制动器两端，一边用手指拿住 Z 轴球状螺母降低到下降端
为止。
4. 请用清洁的布擦去粘附在 Q 轴齿轮上的旧润滑油和污垢。
5. 取 0.1cc 的 Mobilith SHC460WT 到毛刷上。
6. 请用刷子在 Q 轴齿轮 (1) 部均匀地涂敷润滑油。
7. 请用手动旋转 Q 轴齿轮 （1），不浪费润滑油进行涂敷。
8. 请用清洁的布擦去粘附在 Z1，Z2 轴滚珠丝杆 （2）上的旧润滑油和污垢。
9. 取 0.117cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。
10.请用刷子在 Z1，Z2 轴滚珠丝杆 （2）均匀地涂敷润滑油。
11.一边用手按住防止 Z 轴落下的制动器两端，一边用手指拿住 Z 轴球状螺母降低到下降端
为止。
12.请用清洁的布擦去粘附在 Z1，Z2 轴导轨 （3）上的旧润滑油和污垢。
13.取 0.292cc 的 Daphne Exponex No.2 到毛刷上。
注意 )在法兰部附带有润滑油的时候，请用清洁的布擦去。
14.请用刷子在 Z1，Z2 轴的导轨 （3）的轨道面上均匀地涂敷润滑油。
15.用手动将 Z 轴上下移动，使润滑油循环。
16.用清洁的布，擦去渗出的多余的润滑油。
润滑油 加油处 加油量 （cc）
Mobilith SHC460WT(Mobil) (1) Q 轴齿轮 0.1
Daphne Exponex No.2( 出光 ) (2) Z1，Z2 轴滚珠丝杆 0.117
(3) Z1，Z2 轴导轨 0.292