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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 391 6.15.3 更换方法 真空泵的拆除 1. 将在基座上右端的模组处于 半拉出状态，使主开关 OFF。 2. 等待真空泵表面温度下降到室温。 3. 请取下固定轨道的螺栓。因为轨道是用传 送带相连接的，请将轨道折弯后放 在不妨碍取 出真空泵的位置。 警告 更换作业时，请注意没有另外的作 业者插入模组。手指有可能被夹住 后切 断。 在进行拆除真空泵作业前，请务…
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
390 NXT III 机械手册
6.15 2M-3 基座用真空泵的损耗品
请将吸气阀、排气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
6.15.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.15.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H5448D)
工具类
01MEC-1434
部件名称 数量
吸取阀干扰防止橡胶 4
吸 · 排气阀 12
备用排气阀 4
盖垫 4
密封垫 4
吸取阀备份 4
连接管 1
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 扳手
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用酒精 擦拭清扫用
擦纸 擦拭清扫用
防尘口罩、手套、
油性笔
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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 391
6.15.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 请取下固定轨道的螺栓。因为轨道是用传送带相连接的，请将轨道折弯后放在不妨碍取
出真空泵的位置。
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-1518a
3.92 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
392 NXT III 机械手册
4. 请拆除螺栓，取下 2 个空气气缸。在空气气缸上连接了空气软管。请在连接空气软管的
状态下，放置在不妨碍以后作业的地方。
5. 请拆除螺栓，取下 2 个电缆托链架。
01MEC-1519a
12.7 Nm
12.7 Nm
01MEC-1520a
3.92 Nm