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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0 392 NXT III 机械手册 4. 请拆除螺栓，取下 2 个空气气缸。在空气气缸上连接了空气软 管。请在连接空气软管的 状态下，放置在不妨碍以后作业的 地方。 5. 请拆除螺栓，取下 2 个电缆托链架。 01MEC-1519a 12.7 Nm 12.7 Nm 01MEC-1520a 3.92 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 391
6.15.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 请取下固定轨道的螺栓。因为轨道是用传送带相连接的，请将轨道折弯后放在不妨碍取
出真空泵的位置。
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切
断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚
停止后在泵的内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-1518a
3.92 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
392 NXT III 机械手册
4. 请拆除螺栓，取下 2 个空气气缸。在空气气缸上连接了空气软管。请在连接空气软管的
状态下，放置在不妨碍以后作业的地方。
5. 请拆除螺栓，取下 2 个电缆托链架。
01MEC-1519a
12.7 Nm
12.7 Nm
01MEC-1520a
3.92 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 393
6. 请拆除螺栓，拆除限位开关和右侧的电缆托链架 BKT 附带的状态下的中心平板。因为在
中心平板相连着限位开关的电缆，请放置在基座后方。
7. 请拆除螺栓，取下左侧的电缆托链架 BKT。
01MEC-1521a
12.74 Nm
01MEC-1522a
7.84 Nm