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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0 394 NXT III 机械手册 8. 请从真空泵取下软管。拆除螺栓 (2 个 )，请从基座上拆除 真空泵过滤器 BKT。拆除的 BKT 请放置到不妨碍后面从基座取 出真空泵的时候的位置上。 9. 拆除真空泵接线箱的盖板，从接线板拆除 电源线 （U：红、V：白、W：黑、地 线） 。 01MEC-1523a 3.92 Nm 01MEC-1525-b 4.0 Nm U V W 1.65 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 393
6. 请拆除螺栓，拆除限位开关和右侧的电缆托链架 BKT 附带的状态下的中心平板。因为在
中心平板相连着限位开关的电缆，请放置在基座后方。
7. 请拆除螺栓，取下左侧的电缆托链架 BKT。
01MEC-1521a
12.74 Nm
01MEC-1522a
7.84 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
394 NXT III 机械手册
8. 请从真空泵取下软管。拆除螺栓 (2 个 )，请从基座上拆除真空泵过滤器 BKT。拆除的
BKT 请放置到不妨碍后面从基座取出真空泵的时候的位置上。
9. 拆除真空泵接线箱的盖板，从接线板拆除电源线 （U：红、V：白、W：黑、地线）。
01MEC-1523a
3.92 Nm
01MEC-1525-b
4.0 Nm
U V W
1.65 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 395
10.拆除安装真空泵的螺栓 （4 根）。请握住手柄，一边将真空泵往后方移动一边举起后从
基座中取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行操作。一旦运转停
止，泵内部变热，会造成灼伤。
01MEC-1524a
12.74 Nm