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MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 395 10.拆除安装真空泵的螺栓 （4 根） 。请握 住手柄，一边将真空泵往后方 移动一边举起后从 基座中取出。 警告 请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬 起泵。有可能使腰 受伤。 警告 请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后 进行操作。一旦运转停 止，泵内部变热，会造成灼伤。 01MEC-1524a 12.74 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
394 NXT III 机械手册
8. 请从真空泵取下软管。拆除螺栓 (2 个 )，请从基座上拆除真空泵过滤器 BKT。拆除的
BKT 请放置到不妨碍后面从基座取出真空泵的时候的位置上。
9. 拆除真空泵接线箱的盖板，从接线板拆除电源线 （U：红、V：白、W：黑、地线）。
01MEC-1523a
3.92 Nm
01MEC-1525-b
4.0 Nm
U V W
1.65 Nm
MEC-NXT3-004S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 395
10.拆除安装真空泵的螺栓 （4 根）。请握住手柄，一边将真空泵往后方移动一边举起后从
基座中取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行操作。一旦运转停
止，泵内部变热，会造成灼伤。
01MEC-1524a
12.74 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-004S0
396 NXT III 机械手册
真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （M6×L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 （M6×L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的
装配接头一点点交替地拔出。
4. 拆下汽缸。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后
会与空气一起进入体内。
ᒩᶵ
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9.31 Nm
NXTBAS153-b